Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng tantalum carbide coating ng CVD, mga bahagi ng sintered TaC coating para sa paglago ng kristal ng SiC o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagpapaunlad ng mga iterative na teknolohiya.
Ang mga pangunahing produkto ayTaC Coated Guide Ring, CVD TaC coated three-petal guide ring, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Pous Graphite, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantalum Carbide Ring, TaC Coating Rotation Plate, TaC coated wafer susceptor, TaC Coated Deflector Ring, Cover na Patong ng CVD TaC, TaC Coated Chuckatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.
Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:
Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.
●Katatagan ng temperatura
●Napakataas na kadalisayan
●Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si
●Paglaban sa thermal stock
●Malakas na pagdirikit sa grapayt
●Conformal coating coverage
● Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)
● Inductive heating susceptor
● Resistive heating element
● Heat shield
Mga pisikal na katangian ng TaC coating | |
Densidad | 14.3 (g/cm³) |
Tukoy na emissivity | 0.3 |
Thermal expansion coefficient | 6.3 10-6/K |
Katigasan (HK) | 2000 HK |
Paglaban | 1×10-5Ohm*cm |
Thermal na katatagan | <2500℃ |
Mga pagbabago sa laki ng graphite | -10~-20um |
Kapal ng patong | ≥20um karaniwang halaga (35um±10um) |
Elemento | Atomic na porsyento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Katamtaman | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ang M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Ang TaC Coated Guide Ring ay gawa sa mataas na kalidad na graphite at TaC coating. Sa paghahanda ng SiC crystals sa pamamagitan ng PVT method, ang VeTek Semiconductor's TaC coated guide ring ay pangunahing ginagamit upang gabayan at kontrolin ang airflow, i-optimize ang proseso ng paglago ng isang kristal, at pagbutihin ang iisang crystal yield. Sa mahusay na teknolohiya ng TaC coating, ang aming mga produkto ay may mahusay na mataas na temperatura na paglaban, paglaban sa kaagnasan at mahusay na mga katangian ng mekanikal. Taos-puso naming tinatanggap ang iyong konsultasyon at umaasa kaming makapagbigay sa iyo ng mas detalyadong impormasyon ng produkto at teknikal na suporta.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at supplier ng Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk sa China, na tumututok sa TaC coating technology sa loob ng maraming taon. Ang aming mga produkto ay may mataas na kadalisayan at mahusay na mataas na temperatura na pagtutol, na malawak na kinikilala ng mga tagagawa ng semiconductor. Ang VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk ay naging backbone ng industriya ng wafer epitaxy. Inaasahan namin ang pagtatatag ng pangmatagalang pakikipagsosyo sa iyo upang magkasamang isulong ang pag-unlad ng teknolohiya at pag-optimize ng produksyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryMaingat na idinisenyo ng VeTek Semiconductor ang TaC Coated Graphite Wafer Carrier para sa mga customer. Binubuo ito ng high-purity graphite at TaC coating, na angkop para sa iba't ibang wafer epitaxial wafer processing. Kami ay dalubhasa sa SiC at TaC coating sa loob ng maraming taon. Kung ikukumpara sa SiC coating, ang aming TaC coated graphite wafer carrier ay may mas mataas na temperature resistance at wear-resistant. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry