Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng tantalum carbide coating ng CVD, mga bahagi ng sintered TaC coating para sa paglago ng kristal ng SiC o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagpapaunlad ng mga iterative na teknolohiya.
Ang mga pangunahing produkto ayTantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon parts, Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10) , TaC Coated Crucible; Mga Singsing na Pinahiran ng TaC; TaC Coated Porous Graphite; Tantalum Carbide Coating Graphite Susceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalum Carbide Coated Plate; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC Coating Ring; TaC Coating Graphite Cover; TaC Coated Chunkatbp., ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.
Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:
Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.
●Katatagan ng temperatura
●Napakataas na kadalisayan
●Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si
●Paglaban sa thermal stock
●Malakas na pagdirikit sa grapayt
●Conformal coating coverage
● Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)
● Inductive heating susceptor
● Resistive heating element
● Panangga sa init
Mga pisikal na katangian ng TaC coating | |
Densidad | 14.3 (g/cm³) |
Tukoy na emissivity | 0.3 |
Thermal expansion coefficient | 6.3 10-6/K |
Katigasan (HK) | 2000 HK |
Paglaban | 1×10-5Ohm*cm |
Thermal na katatagan | <2500℃ |
Mga pagbabago sa laki ng graphite | -10~-20um |
Kapal ng patong | ≥20um karaniwang halaga (35um±10um) |
Elemento | Atomic na porsyento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Katamtaman | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ang M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at innovator ng TaC Coated Guide Ring sa China. Kami ay dalubhasa sa ceramic coating sa loob ng maraming taon. Pangunahing ginagamit ang TaC Coated Guide Ring upang gabayan at kontrolin ang daloy ng hangin, na nagpapahusay sa ani ng solong paglaki ng kristal. Maligayang pagdating sa pagtatanong sa amin para sa karagdagang impormasyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at innovator ng Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk sa China. Kami ay dalubhasa sa ceramic coating sa loob ng maraming taon. Ang aming mga produkto ay may mataas na kadalisayan at mataas na temperatura na resistensya. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa Tsina.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang nangungunang TaC Coated Graphite Wafer Carrier na tagagawa at innovator sa China. Kami ay dalubhasa sa SiC at TaC coating sa loob ng maraming taon. Ang aming TaC coated graphite wafer carrier ay may mas mataas na temperature resistance at wear-resistant. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry