Bahay > Mga produkto > Tantalum Carbide Coating

China Tantalum Carbide Coating Manufacturer, Supplier, Factory

Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng CVD tantalum carbide coating, sintered TaC coating parts para sa paglago ng SiC crystal o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagbuo ng mga iterative na teknolohiya.


Ang mga pangunahing produkto ayTantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon parts, Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10) , TaC Coated Crucible; Mga Singsing na Pinahiran ng TaC; TaC Coated Porous Graphite; Tantalum Carbide Coating Graphite Susceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalum Carbide Coated Plate; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC Coating Ring; TaC Coating Graphite Cover; TaC Coated Chunkatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.


Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:


Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating


Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.


Mga Pangunahing Tampok:

Katatagan ng temperatura

Napakataas na kadalisayan

Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si

Paglaban sa thermal stock

Malakas na pagdirikit sa grapayt

Conformal coating coverage

Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)


Mga aplikasyon:

Wafer carrier

Inductive heating susceptor

Resistive heating element

Satellite disk

Showerhead

Guide ring

LED Epi receiver

Injection nozzle

Masking singsing

Panangga sa init


Tantalum carbide (TaC) coating sa isang microscopic cross-section:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section


Parameter ng VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Mga pisikal na katangian ng TaC coating
Densidad 14.3 (g/cm³)
Tukoy na emissivity 0.3
Thermal expansion coefficient 6.3 10-6/K
Katigasan (HK) 2000 HK
Paglaban 1×10-5Ohm*cm
Thermal na katatagan <2500℃
Mga pagbabago sa laki ng graphite -10~-20um
Kapal ng patong ≥20um karaniwang halaga (35um±10um)


TaC coating EDX data

TaC coating EDX data


Data ng istraktura ng kristal na patong ng TaC

Elemento Atomic na porsyento
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Katamtaman
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
Ta M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tantalum Carbide Coated Ring

Tantalum Carbide Coated Ring

Bilang isang propesyonal na innovator at pinuno ng mga produkto ng Tantalum Carbide Coated Ring sa China, ang VeTek semiconductor na Tantalum Carbide Coated Ring ay gumaganap ng isang hindi mapapalitang papel sa paglaki ng kristal ng SiC na may mahusay na resistensya sa mataas na temperatura, resistensya ng pagsusuot at mahusay na thermal conductivity. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
Porous Tantalum Carbide

Porous Tantalum Carbide

Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at pinuno ng mga produktong Porous Tantalum Carbide sa China. Ang Porous Tantalum Carbide ay kadalasang ginagawa sa pamamagitan ng chemical vapor deposition (CVD) na pamamaraan, na tinitiyak ang tumpak na kontrol sa laki at pamamahagi ng butas nito, at ito ay isang materyal na tool na nakatuon sa mataas na temperatura ng matinding kapaligiran. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
Tantalum Carbide Ring

Tantalum Carbide Ring

Bilang isang advanced na tagagawa at producer ng mga produkto ng Tantalum Carbide Ring sa China, ang VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring ay may napakataas na tigas, resistensya sa pagsusuot, mataas na paglaban sa temperatura at katatagan ng kemikal, at malawakang ginagamit sa larangan ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Lalo na sa CVD, PVD, proseso ng pagtatanim ng ion, proseso ng pag-ukit, at pagproseso at transportasyon ng wafer, ito ay isang kailangang-kailangan na produkto para sa pagproseso at pagmamanupaktura ng semiconductor. Inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
Suporta sa Tantalum Carbide Coating

Suporta sa Tantalum Carbide Coating

Bilang isang propesyonal na tagagawa at pabrika ng produkto ng Tantalum Carbide Coating Support sa China, ang VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support ay karaniwang ginagamit para sa surface coating ng mga structural component o support component sa semiconductor equipment, lalo na para sa surface protection ng mga pangunahing bahagi ng equipment sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor tulad ng CVD at PVD. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
Tantalum Carbide Guide Ring

Tantalum Carbide Guide Ring

Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at pinuno ng mga produktong Tantalum Carbide Guide Ring sa China. Ang aming Tantalum Carbide (TaC) Guide Ring ay isang high-performance ring component na gawa sa tantalum carbide, na karaniwang ginagamit sa mga kagamitan sa pagpoproseso ng semiconductor, lalo na sa mga high-temperature at highly corrosive na kapaligiran tulad ng CVD, PVD, etching at diffusion. Ang VeTek Semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng advanced na teknolohiya at mga solusyon sa produkto para sa industriya ng semiconductor, at tinatanggap ang iyong mga karagdagang katanungan.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
TaC Coating Rotation Susceptor

TaC Coating Rotation Susceptor

Bilang isang propesyonal na tagagawa, innovator at pinuno ng mga produkto ng TaC Coating Rotation Susceptor sa China. Ang VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor ay karaniwang naka-install sa chemical vapor deposition (CVD) at molecular beam epitaxy (MBE) na kagamitan upang suportahan at paikutin ang mga wafer upang matiyak ang pare-parehong deposition ng materyal at mahusay na reaksyon. Ito ay isang pangunahing bahagi sa pagproseso ng semiconductor. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
Bilang isang propesyonal na Tantalum Carbide Coating tagagawa at supplier sa China, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga customized na serbisyo upang matugunan ang mga partikular na pangangailangan ng iyong rehiyon o gusto mong bumili ng advanced at matibay Tantalum Carbide Coating na gawa sa China, maaari kang mag-iwan sa amin ng mensahe.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept