Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng CVD tantalum carbide coating, sintered TaC coating parts para sa paglago ng SiC crystal o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagbuo ng mga iterative na teknolohiya.
Ang mga pangunahing produkto ayTantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon parts, Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10) , TaC Coated Crucible; Mga Singsing na Pinahiran ng TaC; TaC Coated Porous Graphite; Tantalum Carbide Coating Graphite Susceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalum Carbide Coated Plate; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC Coating Ring; TaC Coating Graphite Cover; TaC Coated Chunkatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.
Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:
Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.
Katatagan ng temperatura
Napakataas na kadalisayan
Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si
Paglaban sa thermal stock
Malakas na pagdirikit sa grapayt
Conformal coating coverage
Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)
Wafer carrier
Inductive heating susceptor
Resistive heating element
Satellite disk
Showerhead
Guide ring
LED Epi receiver
Injection nozzle
Masking singsing
Panangga sa init
Mga pisikal na katangian ng TaC coating | |
Densidad | 14.3 (g/cm³) |
Tukoy na emissivity | 0.3 |
Thermal expansion coefficient | 6.3 10-6/K |
Katigasan (HK) | 2000 HK |
Paglaban | 1×10-5Ohm*cm |
Thermal na katatagan | <2500℃ |
Mga pagbabago sa laki ng graphite | -10~-20um |
Kapal ng patong | ≥20um karaniwang halaga (35um±10um) |
Elemento | Atomic na porsyento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Katamtaman | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Bilang nangungunang tagagawa ng mga produkto ng TaC Coating Guide Rings sa China, ang VeTek Semiconductor TaC coated guide rings ay mahalagang bahagi sa MOCVD equipment, na tinitiyak ang tumpak at stable na paghahatid ng gas sa panahon ng epitaxial growth, at ito ay isang kailangang-kailangan na materyal sa semiconductor epitaxial growth. Maligayang pagdating upang kumonsulta sa amin.
Magbasa paMagpadala ng InquiryBilang isang propesyonal na innovator at pinuno ng mga produkto ng Tantalum Carbide Coated Ring sa China, ang VeTek semiconductor na Tantalum Carbide Coated Ring ay gumaganap ng isang hindi mapapalitang papel sa paglaki ng kristal ng SiC na may mahusay na resistensya sa mataas na temperatura, resistensya ng pagsusuot at mahusay na thermal conductivity. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at pinuno ng mga produktong Porous Tantalum Carbide sa China. Ang Porous Tantalum Carbide ay kadalasang ginagawa sa pamamagitan ng chemical vapor deposition (CVD) na pamamaraan, na tinitiyak ang tumpak na kontrol sa laki at pamamahagi ng butas nito, at ito ay isang materyal na tool na nakatuon sa mataas na temperatura ng matinding kapaligiran. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryBilang isang advanced na tagagawa at producer ng mga produkto ng Tantalum Carbide Ring sa China, ang VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring ay may napakataas na tigas, resistensya sa pagsusuot, mataas na paglaban sa temperatura at katatagan ng kemikal, at malawakang ginagamit sa larangan ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Lalo na sa CVD, PVD, proseso ng pagtatanim ng ion, proseso ng pag-ukit, at pagproseso at transportasyon ng wafer, ito ay isang kailangang-kailangan na produkto para sa pagproseso at pagmamanupaktura ng semiconductor. Inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryBilang isang propesyonal na tagagawa at pabrika ng produkto ng Tantalum Carbide Coating Support sa China, ang VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support ay karaniwang ginagamit para sa surface coating ng mga structural component o support component sa semiconductor equipment, lalo na para sa surface protection ng mga pangunahing bahagi ng equipment sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor tulad ng CVD at PVD. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at pinuno ng mga produktong Tantalum Carbide Guide Ring sa China. Ang aming Tantalum Carbide (TaC) Guide Ring ay isang high-performance ring component na gawa sa tantalum carbide, na karaniwang ginagamit sa mga kagamitan sa pagpoproseso ng semiconductor, lalo na sa mga high-temperature at highly corrosive na kapaligiran tulad ng CVD, PVD, etching at diffusion. Ang VeTek Semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng advanced na teknolohiya at mga solusyon sa produkto para sa industriya ng semiconductor, at tinatanggap ang iyong mga karagdagang katanungan.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry