Dalubhasa ang VeTek Semiconductor sa paggawa ng mga ultra pure Silicon Carbide Coating na mga produkto, ang mga coatings na ito ay idinisenyo upang mailapat sa purified graphite, ceramics, at refractory metal na mga bahagi.
Ang aming mga high purity coating ay pangunahing naka-target para sa paggamit sa mga industriya ng semiconductor at electronics. Nagsisilbi ang mga ito bilang proteksiyon na layer para sa mga wafer carrier, susceptor, at heating elements, na nagpoprotekta sa mga ito mula sa mga kinakaing unti-unti at reaktibong kapaligiran na nakatagpo sa mga proseso gaya ng MOCVD at EPI. Ang mga prosesong ito ay mahalaga sa pagpoproseso ng wafer at paggawa ng device. Bukod pa rito, ang aming mga coatings ay angkop na angkop para sa mga aplikasyon sa mga vacuum furnace at sample heating, kung saan mayroong mataas na vacuum, reactive, at oxygen na kapaligiran.
Sa VeTek Semiconductor, nag-aalok kami ng komprehensibong solusyon sa aming mga advanced na kakayahan sa machine shop. Nagbibigay-daan ito sa amin na gumawa ng mga base na bahagi gamit ang graphite, ceramics, o refractory metal at ilapat ang SiC o TaC ceramic coatings sa loob ng bahay. Nagbibigay din kami ng mga serbisyo ng coating para sa mga bahaging ibinibigay ng customer, na tinitiyak ang kakayahang umangkop upang matugunan ang magkakaibang mga pangangailangan.
Ang aming mga produkto ng Silicon Carbide Coating ay malawakang ginagamit sa Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD system, proseso ng RTP/RTA, proseso ng etching, proseso ng pag-ukit ng ICP/PSS, proseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED atbp., na inangkop sa kagamitan mula sa LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI at iba pa.
Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating | |
Ari-arian | Karaniwang Halaga |
Istraktura ng Kristal | FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented |
Densidad | 3.21 g/cm³ |
Katigasan | 2500 Vickers tigas(500g load) |
Laki ng Butil | 2~10μm |
Kalinisan ng Kemikal | 99.99995% |
Kapasidad ng init | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura ng Sublimation | 2700 ℃ |
Flexural na Lakas | 415 MPa RT 4-point |
Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bend, 1300℃ |
Thermal Conductivity | 300W·m-1·K-1 |
Thermal Expansion(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Bilang isang nangungunang tagagawa at supplier ng mga produkto ng Silicon Carbide Wafer Chuck sa China, ang Silicon Carbide Wafer Chuck ng VeTek Semiconductor ay gumaganap ng isang hindi mapapalitang papel sa proseso ng paglago ng epitaxial na may mahusay na resistensya sa mataas na temperatura, paglaban sa kaagnasan ng kemikal at paglaban sa thermal shock. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at supplier ng mga produkto ng Silicon Carbide Shower Head sa China. Ang SiC Shower Head ay may mahusay na pagpapaubaya sa mataas na temperatura, katatagan ng kemikal, thermal conductivity at mahusay na pagganap ng pamamahagi ng gas, na maaaring makamit ang pare-parehong pamamahagi ng gas at mapabuti ang kalidad ng pelikula. Samakatuwid, kadalasang ginagamit ito sa mga proseso ng mataas na temperatura tulad ng mga proseso ng chemical vapor deposition (CVD) o physical vapor deposition (PVD). Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryBilang isang propesyonal na tagagawa at pabrika ng produkto ng Silicon Carbide Seal Ring sa China, ang VeTek Semiconductor Silicon Carbide Seal Ring ay malawakang ginagamit sa mga kagamitan sa pagpoproseso ng semiconductor dahil sa mahusay nitong paglaban sa init, paglaban sa kaagnasan, lakas ng makina at thermal conductivity. Ito ay partikular na angkop para sa mga prosesong kinasasangkutan ng mataas na temperatura at mga reaktibong gas tulad ng CVD, PVD at plasma etching, at ito ay isang pangunahing pagpili ng materyal sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang iyong mga karagdagang katanungan ay malugod na tinatanggap.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at pinuno ng SiC coated wafer holder na mga produkto sa China. Ang SiC coated wafer holder ay isang wafer holder para sa proseso ng epitaxy sa pagproseso ng semiconductor. Ito ay isang hindi maaaring palitan na aparato na nagpapatatag sa wafer at tinitiyak ang pare-parehong paglaki ng epitaxial layer. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at pabrika ng Epi Wafer Holder sa China. Ang Epi Wafer Holder ay isang wafer holder para sa proseso ng epitaxy sa pagproseso ng semiconductor. Ito ay isang pangunahing tool upang patatagin ang wafer at matiyak ang pare-parehong paglaki ng epitaxial layer. Ito ay malawakang ginagamit sa epitaxy equipment tulad ng MOCVD at LPCVD. Ito ay isang hindi maaaring palitan na aparato sa proseso ng epitaxy. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryBilang isang propesyonal na tagagawa at innovator ng produkto ng Aixtron Satellite Wafer Carrier sa China, ang Aixtron Satellite Wafer Carrier ng VeTek Semiconductor ay isang wafer carrier na ginagamit sa kagamitan ng AIXTRON, pangunahing ginagamit sa mga proseso ng MOCVD sa pagproseso ng semiconductor, at partikular na angkop para sa mataas na temperatura at mataas na katumpakan mga proseso ng pagproseso ng semiconductor. Ang carrier ay maaaring magbigay ng matatag na suporta ng wafer at pare-parehong pag-deposito ng pelikula sa panahon ng paglago ng epitaxial ng MOCVD, na mahalaga para sa proseso ng pag-deposito ng layer. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry