China Solid Silicon Carbide Manufacturer, Supplier, Factory

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide is an important ceramic component in plasma etching equipment, solid silicon carbide(CVD silicon carbide) mga bahagi sa kagamitan sa pag-ukit ay kinabibilangan ngtumututok na singsing, gas showerhead, tray, mga singsing sa gilid, atbp. Dahil sa mababang reaktibiti at conductivity ng solid silicon carbide(CVD silicon carbide) sa chlorine - at fluorine-containing etching gases, ito ay isang mainam na materyal para sa plasma etching equipment focusing rings at iba pang mga bahagi.

Halimbawa, ang focus ring ay isang mahalagang bahagi na inilagay sa labas ng wafer at sa direktang pakikipag-ugnayan sa wafer, sa pamamagitan ng paglalagay ng boltahe sa singsing upang ituon ang plasma na dumadaan sa singsing, at sa gayon ay nakatuon ang plasma sa wafer upang mapabuti ang pagkakapareho ng pagpoproseso. Ang tradisyonal na focus ring ay gawa sa silikon okuwarts, conductive silikon bilang isang pangkaraniwang pokus ng ring materyal, ito ay halos malapit sa kondaktibiti ng silikon wafers, ngunit ang kakulangan ay mahina ukit pagtutol sa fluorine-naglalaman ng plasma, ukit machine bahagi materyales madalas na ginagamit para sa isang tagal ng panahon, magkakaroon ng malubhang hindi pangkaraniwang bagay ng kaagnasan, sineseryoso na binabawasan ang kahusayan ng produksyon nito.

Solid SiC Focus RingPrinsipyo sa Paggawa：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Paghahambing ng Si Based Focusing Ring at CVD SiC Focusing Ring：

Paghahambing ng Si Based Focusing Ring at CVD SiC Focusing Ring
item	At	CVD SiC
Densidad (g/cm³)	2.33	3.21
Band gap (eV)	1.12	2.3
Thermal conductivity (W/cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Elastic modulus (GPa)	150	440
Katigasan (GPa)	11.4	24.5
Paglaban sa pagsusuot at kaagnasan	mahirap	Magaling

Nag-aalok ang VeTek Semiconductor ng mga advanced na solid silicon carbide (CVD silicon carbide) na bahagi tulad ng SiC focusing ring para sa semiconductor equipment. Ang aming solid silicon carbide focusing rings ay higit na mahusay sa tradisyonal na silicon sa mga tuntunin ng mekanikal na lakas, chemical resistance, thermal conductivity, mataas na temperatura na tibay, at ion etching resistance.

Kabilang sa mga pangunahing tampok ng aming SiC focusing ring:

Mataas na density para sa pinababang rate ng pag-ukit.

Napakahusay na pagkakabukod na may mataas na bandgap.

Mataas na thermal conductivity at mababang koepisyent ng thermal expansion.

Superior mekanikal na epekto paglaban at pagkalastiko.

Mataas na tigas, wear resistance, at corrosion resistance.

Ginawa gamit angplasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)diskarte, natutugunan ng aming mga SiC focusing ring ang dumaraming pangangailangan ng mga proseso ng pag-ukit sa paggawa ng semiconductor. Idinisenyo ang mga ito upang makatiis ng mas mataas na kapangyarihan at enerhiya ng plasma, partikular sacapacitively coupled plasma (CCP)mga sistema.

Nagbibigay ang mga SiC focusing ring ng VeTek Semiconductor ng pambihirang pagganap at pagiging maaasahan sa paggawa ng semiconductor device. Piliin ang aming mga bahagi ng SiC para sa mataas na kalidad at kahusayan.

View as

Solid SiC Disc-shaped na Shower Head

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng kagamitan sa semiconductor sa China at isang propesyonal na tagagawa at supplier ng Solid SiC Disc-shaped Shower Head. Ang aming Disc shape na Shower Head ay malawakang ginagamit sa thin film deposition production gaya ng CVD process upang matiyak ang pare-parehong pamamahagi ng reaction gas at isa sa mga pangunahing bahagi ng CVD furnace.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

Bahagi ng SiC Sealing

Bilang isang advanced na SiC Sealing Part na tagagawa at pabrika ng produkto sa China. Ang VeTek Semiconducto SiC Sealing Part ay isang high-performance sealing component na malawakang ginagamit sa pagproseso ng semiconductor at iba pang matinding proseso ng mataas na temperatura at mataas na presyon. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

Silikon Carbide Shower Head

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at supplier ng mga produkto ng Silicon Carbide Shower Head sa China. Ang SiC Shower Head ay may mahusay na pagpapaubaya sa mataas na temperatura, katatagan ng kemikal, thermal conductivity at mahusay na pagganap ng pamamahagi ng gas, na maaaring makamit ang pare-parehong pamamahagi ng gas at mapabuti ang kalidad ng pelikula. Samakatuwid, kadalasang ginagamit ito sa mga proseso ng mataas na temperatura tulad ng mga proseso ng chemical vapor deposition (CVD) o physical vapor deposition (PVD). Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

Silicon Carbide Seal Ring

Bilang isang propesyonal na tagagawa at pabrika ng produkto ng Silicon Carbide Seal Ring sa China, ang VeTek Semiconductor Silicon Carbide Seal Ring ay malawakang ginagamit sa mga kagamitan sa pagpoproseso ng semiconductor dahil sa mahusay nitong paglaban sa init, paglaban sa kaagnasan, lakas ng makina at thermal conductivity. Ito ay partikular na angkop para sa mga prosesong kinasasangkutan ng mataas na temperatura at mga reaktibong gas tulad ng CVD, PVD at plasma etching, at ito ay isang pangunahing pagpili ng materyal sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang iyong mga karagdagang katanungan ay malugod na tinatanggap.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

CVD SiC Block para sa SiC Crystal Growth

Nakatuon ang VeTek Semiconductor sa pagsasaliksik at pagpapaunlad at industriyalisasyon ng CVD-SiC bulk sources, CVD SiC coatings, at CVD TaC coating. Ang pagkuha ng CVD SiC block para sa SiC Crystal Growth bilang isang halimbawa, ang teknolohiya sa pagpoproseso ng produkto ay advanced, ang rate ng paglago ay mabilis, mataas na temperatura resistensya, at corrosion resistance ay malakas. Maligayang pagdating upang magtanong.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

SiC Crystal Growth Bagong Teknolohiya

Ang ultra-high purity silicon carbide (SiC) ng Vetek Semiconductor na nabuo sa pamamagitan ng chemical vapor deposition (CVD) ay maaaring gamitin bilang source material para sa pagpapalaki ng mga silicon carbide crystals sa pamamagitan ng physical vapor transport (PVT). Sa SiC Crystal Growth New Technology, ang pinagmumulan ng materyal ay nilo-load sa isang crucible at na-sublimate sa isang seed crystal. Gamitin ang mga itinapon na bloke ng CVD-SiC para i-recycle ang materyal bilang pinagmumulan ng mga lumalagong SiC crystal. Maligayang pagdating upang magtatag ng isang pakikipagtulungan sa amin.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

<1 2 >

Bilang isang propesyonal na Solid Silicon Carbide tagagawa at supplier sa China, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga customized na serbisyo upang matugunan ang mga partikular na pangangailangan ng iyong rehiyon o gusto mong bumili ng advanced at matibay Solid Silicon Carbide na gawa sa China, maaari kang mag-iwan sa amin ng mensahe.