VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide is an important ceramic component in plasma etching equipment, solid silicon carbide(CVD silicon carbide) mga bahagi sa kagamitan sa pag-ukit ay kinabibilangan ngtumututok na singsing, gas showerhead, tray, mga singsing sa gilid, atbp. Dahil sa mababang reaktibiti at conductivity ng solid silicon carbide(CVD silicon carbide) sa chlorine - at fluorine-containing etching gases, ito ay isang mainam na materyal para sa plasma etching equipment focusing rings at iba pang mga bahagi.
Halimbawa, ang focus ring ay isang mahalagang bahagi na inilagay sa labas ng wafer at sa direktang pakikipag-ugnayan sa wafer, sa pamamagitan ng paglalagay ng boltahe sa singsing upang ituon ang plasma na dumadaan sa singsing, at sa gayon ay nakatuon ang plasma sa wafer upang mapabuti ang pagkakapareho ng pagpoproseso. Ang tradisyonal na focus ring ay gawa sa silikon okuwarts, conductive silikon bilang isang pangkaraniwang pokus ng ring materyal, ito ay halos malapit sa kondaktibiti ng silikon wafers, ngunit ang kakulangan ay mahina ukit pagtutol sa fluorine-naglalaman ng plasma, ukit machine bahagi materyales madalas na ginagamit para sa isang tagal ng panahon, magkakaroon ng malubhang hindi pangkaraniwang bagay ng kaagnasan, sineseryoso na binabawasan ang kahusayan ng produksyon nito.
Solid SiC Focus RingPrinsipyo sa Paggawa:
Paghahambing ng Si Based Focusing Ring at CVD SiC Focusing Ring:
Paghahambing ng Si Based Focusing Ring at CVD SiC Focusing Ring | ||
item | At | CVD SiC |
Densidad (g/cm3) | 2.33 | 3.21 |
Band gap (eV) | 1.12 | 2.3 |
Thermal conductivity (W/cm ℃) | 1.5 | 5 |
CTE (x10-6/℃) | 2.6 | 4 |
Elastic modulus (GPa) | 150 | 440 |
Katigasan (GPa) | 11.4 | 24.5 |
Paglaban sa pagsusuot at kaagnasan | mahirap | Magaling |
Nag-aalok ang VeTek Semiconductor ng mga advanced na solid silicon carbide (CVD silicon carbide) na bahagi tulad ng SiC focusing ring para sa semiconductor equipment. Ang aming solid silicon carbide focusing rings ay higit na mahusay sa tradisyonal na silicon sa mga tuntunin ng mekanikal na lakas, chemical resistance, thermal conductivity, mataas na temperatura na tibay, at ion etching resistance.
Mataas na density para sa pinababang rate ng pag-ukit.
Napakahusay na pagkakabukod na may mataas na bandgap.
Mataas na thermal conductivity at mababang koepisyent ng thermal expansion.
Superior mekanikal na epekto paglaban at pagkalastiko.
Mataas na tigas, wear resistance, at corrosion resistance.
Ginawa gamit angplasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)diskarte, natutugunan ng aming mga SiC focusing ring ang dumaraming pangangailangan ng mga proseso ng pag-ukit sa paggawa ng semiconductor. Idinisenyo ang mga ito upang makatiis ng mas mataas na kapangyarihan at enerhiya ng plasma, partikular sacapacitively coupled plasma (CCP)mga sistema.
Nagbibigay ang mga SiC focusing ring ng VeTek Semiconductor ng pambihirang pagganap at pagiging maaasahan sa paggawa ng semiconductor device. Piliin ang aming mga bahagi ng SiC para sa mataas na kalidad at kahusayan.
Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at supplier ng mga produkto ng Silicon Carbide Shower Head sa China. Ang SiC Shower Head ay may mahusay na pagpapaubaya sa mataas na temperatura, katatagan ng kemikal, thermal conductivity at mahusay na pagganap ng pamamahagi ng gas, na maaaring makamit ang pare-parehong pamamahagi ng gas at mapabuti ang kalidad ng pelikula. Samakatuwid, kadalasang ginagamit ito sa mga proseso ng mataas na temperatura tulad ng mga proseso ng chemical vapor deposition (CVD) o physical vapor deposition (PVD). Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryBilang isang propesyonal na tagagawa at pabrika ng produkto ng Silicon Carbide Seal Ring sa China, ang VeTek Semiconductor Silicon Carbide Seal Ring ay malawakang ginagamit sa mga kagamitan sa pagpoproseso ng semiconductor dahil sa mahusay nitong paglaban sa init, paglaban sa kaagnasan, lakas ng makina at thermal conductivity. Ito ay partikular na angkop para sa mga prosesong kinasasangkutan ng mataas na temperatura at mga reaktibong gas tulad ng CVD, PVD at plasma etching, at ito ay isang pangunahing pagpili ng materyal sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang iyong mga karagdagang katanungan ay malugod na tinatanggap.
Magbasa paMagpadala ng InquiryNakatuon ang VeTek Semiconductor sa pagsasaliksik at pagpapaunlad at industriyalisasyon ng CVD-SiC bulk sources, CVD SiC coatings, at CVD TaC coating. Ang pagkuha ng CVD SiC block para sa SiC Crystal Growth bilang isang halimbawa, ang teknolohiya sa pagpoproseso ng produkto ay advanced, ang rate ng paglago ay mabilis, mataas na temperatura resistensya, at corrosion resistance ay malakas. Maligayang pagdating upang magtanong.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng ultra-high purity silicon carbide (SiC) ng Vetek Semiconductor na nabuo sa pamamagitan ng chemical vapor deposition (CVD) ay maaaring gamitin bilang source material para sa pagpapalaki ng mga silicon carbide crystals sa pamamagitan ng physical vapor transport (PVT). Sa SiC Crystal Growth New Technology, ang pinagmumulan ng materyal ay nilo-load sa isang crucible at na-sublimate sa isang seed crystal. Gamitin ang mga itinapon na bloke ng CVD-SiC para i-recycle ang materyal bilang pinagmumulan ng mga lumalagong SiC crystal. Maligayang pagdating upang magtatag ng isang pakikipagtulungan sa amin.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng CVD SiC Shower Head at innovator sa China. Kami ay dalubhasa sa SiC na materyal sa loob ng maraming taon. plasma erosion. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at innovator ng SiC Shower Head sa China. Kami ay dalubhasa sa SiC na materyal sa loob ng maraming taon. Ang SiC Shower Head ay pinili bilang isang materyal na tumututok sa singsing dahil sa mahusay na thermochemical stability, mataas na mekanikal na lakas at paglaban sa pagguho ng plasma . Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry