Silikon Carbide Shower Head

Ang VeTek Semiconductor Silicon Carbide Shower Head ay pangunahing gawa sa SiC. Sa pagpoproseso ng semiconductor, ang pangunahing pag-andar ng Silicon Carbide Shower Head ay upang pantay na ipamahagi ang reaksyon ng gas upang matiyak ang pagbuo ng isang pare-parehong pelikula sa panahon ngchemical vapor deposition (CVD)opisikal na vapor deposition (PVD)mga proseso. Dahil sa mahusay na mga katangian ng SiC tulad ng mataas na thermal conductivity at chemical stability, ang SiC Shower Head ay maaaring gumana nang mahusay sa mataas na temperatura, bawasan ang hindi pantay na daloy ng gas sa panahon ngproseso ng deposition, at sa gayon ay mapabuti ang kalidad ng layer ng pelikula.

Maaaring pantay-pantay na ipamahagi ng Silicon Carbide Shower Head ang reaction gas sa pamamagitan ng maraming nozzle na may parehong aperture, tiyakin ang pare-parehong daloy ng gas, maiwasan ang mga lokal na konsentrasyon na masyadong mataas o masyadong mababa, at sa gayon ay mapabuti ang kalidad ng pelikula. Pinagsama sa mahusay na mataas na temperatura na paglaban at katatagan ng kemikal ngCVD SiC, walang mga particle o contaminant na inilalabas sa panahon ngproseso ng deposition ng pelikula, na mahalaga sa pagpapanatili ng kadalisayan ng deposition ng pelikula.

Bilang karagdagan, ang isa pang pangunahing bentahe ng CVD SiC Shower Head ay ang paglaban nito sa thermal deformation. Tinitiyak ng feature na ito na mapapanatili ng component ang physical structural stability kahit na sa mga high temperature environment na tipikal ng chemical vapor deposition (CVD) o physical vapor deposition (PVD) na proseso. Ang katatagan ay nagpapaliit sa panganib ng maling pagkakahanay o mekanikal na pagkabigo, sa gayon ay pinapabuti ang pagiging maaasahan at buhay ng serbisyo ng pangkalahatang aparato.

Bilang nangungunang tagagawa at supplier ng Silicon Carbide Shower Head ng China. Ang pinakamalaking bentahe ng VeTek Semiconductor CVD Silicon Carbide Shower Head ay ang kakayahang magbigay ng mga customized na produkto at teknikal na serbisyo. Ang aming naka-customize na kalamangan sa serbisyo ay maaaring matugunan ang iba't ibang mga kinakailangan ng iba't ibang mga customer para sa surface finish. Sa partikular, sinusuportahan nito ang pinong pag-customize ng mature na pagproseso at mga teknolohiya sa paglilinis sa panahon ng proseso ng pagmamanupaktura.

Bilang karagdagan, ang pore inner wall ng VeTek Semiconductor Silicon Carbide Shower Head ay maingat na ginagamot upang matiyak na walang natitirang layer ng pinsala, na nagpapahusay sa pangkalahatang pagganap sa ilalim ng matinding mga kondisyon. Bilang karagdagan, ang aming CVD SiC Shower Head ay nakakamit ng isang minimum na aperture na 0.2 mm, sa gayon ay nakakamit ang mahusay na katumpakan ng paghahatid ng gas at pinapanatili ang pinakamainam na daloy ng gas at mga epekto ng thin film deposition sa panahon ng paggawa ng semiconductor.

SEM DATA NGCVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE：

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC Coating：

Mga Tindahan ng VeTek Semiconductor Silicon Carbide Shower Head：