Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang SiC Coated Barrel Susceptor para sa tagagawa at innovator ng LPE PE2061S sa China. Kami ay dalubhasa sa SiC coating material sa loob ng maraming taon. Nag-aalok kami ng SiC-coated barrel susceptor na sadyang idinisenyo para sa LPE PE2061S 4'' wafers. Nagtatampok ang susceptor na ito ng matibay na silicon carbide coating na nagpapahusay sa pagganap at tibay sa panahon ng proseso ng LPE (Liquid Phase Epitaxy). Inaanyayahan ka naming bisitahin ang aming pabrika sa China.
Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na China SiC Coated Barrel Susceptor para saLPE PE2061Stagagawa at tagapagtustos.
Ang VeTeK Semiconductor SiC-coated barrel susceptor para sa LPE PE2061S ay isang high-performance na produkto na nilikha sa pamamagitan ng paglalagay ng pinong layer ng silicon carbide sa ibabaw ng highly purified isotropic graphite. Nakamit ito sa pamamagitan ng pagmamay-ari ng VeTeK SemiconductorChemical Vapor Deposition (CVD)proseso.
Ang aming SiC Coated Barrel Susceptor para sa LPE PE2061S ay isang uri ng CVD epitaxial deposition barrel reactor na idinisenyo upang makapaghatid ng maaasahang pagganap sa matinding kapaligiran. Ang pambihirang coating adhesion nito, mataas na temperatura na oxidation resistance, at corrosion resistance ay ginagawa itong isang mahusay na pagpipilian para sa paggamit sa malupit na mga kondisyon. Bukod pa rito, ang pare-parehong thermal profile nito at ang pattern ng daloy ng laminar gas ay pumipigil sa kontaminasyon, na tinitiyak ang mataas na kalidad na paglaki ng epitaxial.
Ang hugis-barrel na disenyo ng aming semiconductorepitaxial reactorino-optimize ang mga pattern ng daloy ng laminar gas, na tinitiyak ang pare-parehong pamamahagi ng init. Nakakatulong ito na maiwasan ang anumang kontaminasyon o pagsasabog ng mga impurities,tinitiyak ang mataas na kalidad na paglaki ng epitaxial sa mga substrate ng wafer.
Kami ay nakatuon sa pagbibigay sa aming mga customer ng de-kalidad, matipid na mga produkto. Ang aming CVD SiC coated Barrel Susceptor ay nag-aalok ng kalamangan ng pagiging mapagkumpitensya ng presyo habang pinapanatili ang mahusay na density para sa parehonggraphite substrateatsilikon carbide coating, na nagbibigay ng maaasahang proteksyon sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran sa pagtatrabaho.
SEM DATA NG CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE:
Ang SiC-coated barrel susceptor para sa solong paglaki ng kristal ay nagpapakita ng napakataas na kinis sa ibabaw.
Pinaliit nito ang pagkakaiba sa thermal expansion coefficient sa pagitan ng graphite substrate at
silikon carbide coating, na epektibong nagpapabuti sa lakas ng bonding at pinipigilan ang pag-crack at delamination.
Parehong ang graphite substrate at silicon carbide coating ay may mataas na thermal conductivity at mahusay na thermal distribution capabilities.
Ito ay may mataas na punto ng pagkatunaw, mataas na temperaturapaglaban sa oksihenasyon, atpaglaban sa kaagnasan.
Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating | |
Ari-arian | Karaniwang Halaga |
Istraktura ng Kristal | FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented |
Densidad | 3.21 g/cm³ |
Katigasan | 2500 Vickers tigas(500g load) |
Laki ng Butil | 2~10μm |
Kadalisayan ng Kemikal | 99.99995% |
Kapasidad ng init | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura ng Sublimation | 2700 ℃ |
Flexural na Lakas | 415 MPa RT 4-point |
Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bend, 1300℃ |
Thermal Conductivity | 300W·m-1·K-1 |
Thermal Expansion(CTE) | 4.5×10-6K-1 |