Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng CVD tantalum carbide coating, sintered TaC coating parts para sa paglago ng SiC crystal o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagbuo ng mga iterative na teknolohiya.
Ang mga pangunahing produkto ayTantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon parts, Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10) , TaC Coated Crucible; Mga Singsing na Pinahiran ng TaC; TaC Coated Porous Graphite; Tantalum Carbide Coating Graphite Susceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalum Carbide Coated Plate; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC Coating Ring; TaC Coating Graphite Cover; TaC Coated Chunkatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.
Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:
Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.
Katatagan ng temperatura
Napakataas na kadalisayan
Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si
Paglaban sa thermal stock
Malakas na pagdirikit sa grapayt
Conformal coating coverage
Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)
Wafer carrier
Inductive heating susceptor
Resistive heating element
Satellite disk
Showerhead
Guide ring
LED Epi receiver
Injection nozzle
Masking singsing
Panangga sa init
Mga pisikal na katangian ng TaC coating | |
Densidad | 14.3 (g/cm³) |
Tukoy na emissivity | 0.3 |
Thermal expansion coefficient | 6.3 10-6/K |
Katigasan (HK) | 2000 HK |
Paglaban | 1×10-5Ohm*cm |
Thermal na katatagan | <2500℃ |
Mga pagbabago sa laki ng graphite | -10~-20um |
Kapal ng patong | ≥20um karaniwang halaga (35um±10um) |
Elemento | Atomic na porsyento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Katamtaman | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa ng TaC Coating Plate at iba pang ekstrang bahagi ng TaC Coating sa China. Ang TaC Coating ay kasalukuyang pangunahing ginagamit sa mga proseso tulad ng silicon carbide single crystal growth (PVT method), epitaxial disk (kabilang ang silicon carbide epitaxy, LED epitaxy), atbp. Kasama ang magandang pangmatagalang katatagan ng TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Ang Coating Plate ay naging benchmark para sa mga ekstrang bahagi ng TaC Coating. Inaasahan namin na ikaw ay maging aming pangmatagalang kasosyo.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa ng GaN sa SiC epi susceptor, CVD SiC coating, at CVD TAC COATING graphite susceptor sa China. Kabilang sa mga ito, ang GaN sa SiC epi susceptor ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pagproseso ng semiconductor. Sa pamamagitan ng mahusay na thermal conductivity nito, kakayahan sa pagproseso ng mataas na temperatura at katatagan ng kemikal, tinitiyak nito ang mataas na kahusayan at kalidad ng materyal ng proseso ng paglago ng epitaxial ng GaN. Taos-puso kaming umaasa sa iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng CVD TaC Coating carrier ng VeTek Semiconductor ay pangunahing idinisenyo para sa epitaxial na proseso ng paggawa ng semiconductor. Tinutukoy ng Ultra-high melting point ng CVD TaC Coating carrier, mahusay na corrosion resistance, at namumukod-tanging thermal stability ang pangangailangan ng produktong ito sa semiconductor epitaxial process. taos-puso kaming umaasa na bumuo ng pangmatagalang relasyon sa negosyo sa iyo.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng TaC Coating Guide Ring ng VeTek Semiconductor ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay ng tantalum carbide coating sa mga bahagi ng graphite gamit ang isang advanced na pamamaraan na tinatawag na chemical vapor deposition (CVD). Ang pamamaraang ito ay mahusay na itinatag at nag-aalok ng mga pambihirang katangian ng patong. Sa pamamagitan ng paggamit ng TaC Coating Guide Ring, ang habang-buhay ng mga bahagi ng grapayt ay maaaring mapalawak nang malaki, ang paggalaw ng mga dumi ng grapayt ay maaaring masugpo, at ang SiC at AIN na solong kristal na kalidad ay maaasahang mapanatili. Maligayang pagdating sa pagtatanong sa amin.
Magbasa paMagpadala ng InquiryGumagamit ang VeTek Semiconductor's TaC Coated Graphite Susceptor ng chemical vapor deposition(CVD) na paraan upang maghanda ng tantalum carbide coating sa ibabaw ng mga bahagi ng graphite. Ang prosesong ito ay ang pinaka-mature at may pinakamahusay na mga katangian ng patong. Maaaring pahabain ng TaC Coated Graphite Susceptor ang buhay ng serbisyo ng mga bahagi ng graphite, pigilan ang paglipat ng mga impurities ng graphite, at tiyakin ang kalidad ng epitaxy. Inaasahan ng VeTek Semiconductor ang iyong pagtatanong.
Magbasa paMagpadala ng InquiryItinatanghal ng VeTek Semiconductor ang TaC Coating Susceptor, Gamit ang pambihirang TaC coating nito, ang susceptor na ito ay nag-aalok ng maraming mga bentahe na naiiba ito sa mga nakasanayang solusyon. Walang putol na pagsasama sa mga umiiral nang system, ginagarantiyahan ng TaC Coating Susceptor mula sa VeTek Semiconductor ang pagiging tugma at mahusay na operasyon. Ang maaasahang pagganap at mataas na kalidad na TaC coating nito ay patuloy na naghahatid ng mga pambihirang resulta sa mga proseso ng SiC epitaxy. Nakatuon kami sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry