TaC Coated Graphite Susceptor

Malugod kang tinatanggap na pumunta sa aming factory na VeTek Semiconductor para bumili ng pinakabagong benta, mababang presyo, at mataas na kalidad na TaC Coated Graphite Susceptor. Inaasahan namin ang pakikipagtulungan sa iyo.

Ang tantalum carbide ceramic material melting point hanggang sa 3880 ℃, ay isang mataas na punto ng pagkatunaw at mahusay na katatagan ng kemikal ng tambalan, ang mataas na temperatura ng kapaligiran nito ay maaari pa ring mapanatili ang matatag na pagganap, bilang karagdagan, mayroon din itong mataas na pagtutol sa temperatura, paglaban sa kaagnasan ng kemikal, magandang kemikal at mekanikal na pagkakatugma sa mga materyales ng carbon at iba pang mga katangian, na ginagawa itong isang perpektong graphite substrate protective coating material. Ang tantalum carbide coating ay maaaring epektibong maprotektahan ang mga bahagi ng grapayt mula sa impluwensya ng mainit na ammonia, hydrogen at silikon na singaw at tinunaw na metal sa malupit na kapaligiran ng paggamit, makabuluhang pahabain ang buhay ng serbisyo ng mga bahagi ng grapayt, at pagbawalan ang paglipat ng mga dumi sa grapayt, tinitiyak ang kalidad ng epitaxy at paglaki ng kristal. Pangunahing ginagamit ito sa proseso ng basa na seramik.

Ang chemical vapor deposition (CVD) ay ang pinaka-mature at pinakamainam na paraan ng paghahanda para sa tantalum carbide coating sa ibabaw ng graphite.

CVD TaC Coating Method para sa TaC Coated Graphite Susceptor:

Ang proseso ng coating ay gumagamit ng TaCl5 at propylene bilang carbon source at tantalum source ayon sa pagkakabanggit, at argon bilang carrier gas upang dalhin ang tantalum pentachloride vapor sa reaction chamber pagkatapos ng mataas na temperatura na gasification. Sa ilalim ng target na temperatura at presyon, ang singaw ng precursor na materyal ay na-adsorbed sa ibabaw ng bahagi ng grapayt, at isang serye ng mga kumplikadong reaksiyong kemikal tulad ng agnas at kumbinasyon ng pinagmumulan ng carbon at pinagmumulan ng tantalum ay nagaganap. Kasabay nito, ang isang serye ng mga reaksyon sa ibabaw tulad ng pagsasabog ng precursor at desorption ng mga by-product ay kasangkot din. Sa wakas, ang isang siksik na proteksiyon na layer ay nabuo sa ibabaw ng bahagi ng grapayt, na nagpoprotekta sa bahagi ng grapayt mula sa pagiging matatag sa ilalim ng matinding mga kondisyon sa kapaligiran. Ang mga sitwasyon ng aplikasyon ng mga materyal na grapayt ay makabuluhang pinalawak.

Parameter ng produkto ng TaC Coated Graphite Susceptor:

Mga tindahan ng produksyon:

Pangkalahatang-ideya ng chain ng industriya ng semiconductor chip epitaxy: