Ang VeTek semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng Tantalum Carbide Coating na materyales para sa industriya ng semiconductor. Kabilang sa aming mga pangunahing inaalok na produkto ang mga bahagi ng CVD tantalum carbide coating, sintered TaC coating parts para sa paglago ng SiC crystal o proseso ng semiconductor epitaxy. Naipasa ang ISO9001, ang VeTek Semiconductor ay may mahusay na kontrol sa kalidad. Nakatuon ang VeTek Semiconductor na maging innovator sa industriya ng Tantalum Carbide Coating sa pamamagitan ng patuloy na pagsasaliksik at pagbuo ng mga iterative na teknolohiya.
Ang mga pangunahing produkto ayTantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon parts, Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10) , TaC Coated Crucible; Mga Singsing na Pinahiran ng TaC; TaC Coated Porous Graphite; Tantalum Carbide Coating Graphite Susceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalum Carbide Coated Plate; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC Coating Ring; TaC Coating Graphite Cover; TaC Coated Chunkatbp, ang kadalisayan ay mas mababa sa 5ppm, maaaring matugunan ang mga kinakailangan ng customer.
Ang TaC coating graphite ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay sa ibabaw ng isang high-purity graphite substrate na may pinong layer ng tantalum carbide sa pamamagitan ng isang proprietary Chemical Vapor Deposition (CVD) na proseso. Ang kalamangan ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:
Ang tantalum carbide (TaC) coating ay nakakuha ng pansin dahil sa mataas na punto ng pagkatunaw nito na hanggang sa 3880°C, mahusay na mekanikal na lakas, tigas, at paglaban sa mga thermal shock, na ginagawa itong isang kaakit-akit na alternatibo sa compound semiconductor epitaxy na mga proseso na may mas mataas na mga kinakailangan sa temperatura, tulad ng Aixtron MOCVD system at LPE SiC epitaxy process. Mayroon din itong malawak na aplikasyon sa PVT method na SiC crystal growth process.
Katatagan ng temperatura
Napakataas na kadalisayan
Paglaban sa H2, NH3, SiH4, Si
Paglaban sa thermal stock
Malakas na pagdirikit sa grapayt
Conformal coating coverage
Sukat hanggang 750 mm diameter (Ang tanging tagagawa sa China ay umabot sa ganitong laki)
Wafer carrier
Inductive heating susceptor
Resistive heating element
Satellite disk
Showerhead
Guide ring
LED Epi receiver
Injection nozzle
Masking singsing
Panangga sa init
Mga pisikal na katangian ng TaC coating | |
Densidad | 14.3 (g/cm³) |
Tukoy na emissivity | 0.3 |
Thermal expansion coefficient | 6.3 10-6/K |
Katigasan (HK) | 2000 HK |
Paglaban | 1×10-5Ohm*cm |
Thermal na katatagan | <2500℃ |
Mga pagbabago sa laki ng graphite | -10~-20um |
Kapal ng patong | ≥20um karaniwang halaga (35um±10um) |
Elemento | Atomic na porsyento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Katamtaman | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Ipinagmamalaki ng TaC Coating Rotation Plate ng VeTek Semiconductor ang isang namumukod-tanging TaC coating, Sa pambihirang TaC coating nito, ipinagmamalaki ng TaC Coating Rotation Plate ang pagkakaroon ng kahanga-hangang mataas na temperatura na resistensya at chemical inertness, na nagtatakda nito sa mga tradisyonal na solusyon. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensya presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng TaC Coating Plate ng VeTek Semiconductor ay isang kahanga-hangang produkto na nag-aalok ng mga pambihirang tampok at pakinabang. Dinisenyo nang may katumpakan at ininhinyero sa pagiging perpekto, ang aming TaC Coating Plate ay partikular na iniakma para sa iba't ibang mga aplikasyon sa silicon carbide (SiC) na proseso ng paglaki ng solong kristal. Ang mga tumpak na sukat ng TaC Coating Plate at matatag na konstruksyon ay nagpapadali sa pagsasama sa mga umiiral nang system, na tinitiyak ang tuluy-tuloy na pagkakatugma at mahusay na operasyon. Ang maaasahang pagganap at mataas na kalidad na coating nito ay nag-aambag sa pare-pareho at pare-parehong mga resulta sa SiC crystal growth applications. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at ......
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng CVD TaC coating cover na ibinigay ng VeTek Semiconductor ay isang napaka-espesyal na bahagi na partikular na idinisenyo para sa mga hinihingi na aplikasyon. Sa mga advanced na feature at pambihirang performance nito, nag-aalok ang aming CVD TaC coating cover ng ilang pangunahing bentahe. Ang aming CVD TaC coating cover ay nagbibigay ng kinakailangang proteksyon at pagganap na kinakailangan para sa tagumpay. Inaasahan naming tuklasin ang potensyal na pakikipagtulungan sa iyo!
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor ay isang pambihirang produkto para sa Aixtron epitaxy equipment. Ang matatag na TaC coating ay nagbibigay ng mahusay na mataas na temperatura na pagtutol at chemical inertness. Tinitiyak ng natatanging kumbinasyong ito ang maaasahang pagganap at mahabang buhay ng serbisyo, kahit na sa mga mahirap na kapaligiran. Nakatuon ang VeTek sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto at nagsisilbing pangmatagalang kasosyo sa merkado ng China na may mapagkumpitensyang pagpepresyo.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor's TaC Coating Pedestal Support Plate ay isang high-precision na produkto na idinisenyo upang matugunan ang mga partikular na kinakailangan ng mga proseso ng semiconductor epitaxy. Sa pamamagitan ng TaC coating nito, mataas na temperatura na resistensya, at chemical inertness, binibigyang kapangyarihan ka ng aming produkto na makagawa ng mga de-kalidad na EPI layer na may mataas na kalidad. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng TaC Coating Chuck ng VeTek Semiconductor ay nagtatampok ng mataas na kalidad na TaC coating, na kilala sa namumukod-tanging resistensya sa mataas na temperatura at kawalang-kilos ng kemikal, partikular sa mga proseso ng silicon carbide (SiC) epitaxy(EPI). Sa pambihirang mga tampok nito at mahusay na pagganap, ang aming TaC Coating Chuck ay nag-aalok ng ilang pangunahing bentahe. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry