TaC Coating Planetary Susceptor

Ang VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor ay isang pambihirang produkto para sa Aixtron epitaxy equipment. Ang matatag na TaC coating ay nagbibigay ng mahusay na mataas na temperatura na pagtutol at chemical inertness. Tinitiyak ng natatanging kumbinasyong ito ang maaasahang pagganap at mahabang buhay ng serbisyo, kahit na sa mga mahirap na kapaligiran. Nakatuon ang VeTek sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto at nagsisilbing pangmatagalang kasosyo sa merkado ng China na may mapagkumpitensyang pagpepresyo.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Sa larangan ng paggawa ng semiconductor, ang TaC Coating Planetary Susceptor ay gumaganap ng isang mahalagang papel. Ito ay malawakang ginagamit sa paglago ng silicon carbide (SiC) epitaxial layer sa mga kagamitan tulad ng Aixtron G5 system. Higit pa rito, kapag ginamit bilang isang panlabas na disk sa tantalum carbide (TaC) coating deposition para sa SiC epitaxy, ang TaC Coating Planetary Susceptor ay nagbibigay ng mahalagang suporta at katatagan. Tinitiyak nito ang pare-parehong pag-deposito ng tantalum carbide layer, na nag-aambag sa pagbuo ng mga de-kalidad na epitaxial layer na may mahusay na morpolohiya sa ibabaw at ninanais na kapal ng pelikula. Pinipigilan ng chemical inertness ng TaC coating ang mga hindi gustong reaksyon at kontaminasyon, pinapanatili ang integridad ng mga epitaxial layer at tinitiyak ang kanilang mataas na kalidad.

Ang pambihirang thermal conductivity ng TaC coating ay nagbibigay-daan sa mahusay na paglipat ng init, nagtataguyod ng pare-parehong pamamahagi ng temperatura at pinapaliit ang thermal stress sa panahon ng proseso ng paglaki ng epitaxial. Nagreresulta ito sa paggawa ng mga de-kalidad na SiC epitaxial layer na may pinabuting crystallographic na katangian at pinahusay na electrical conductivity.

Ang mga tumpak na sukat at matatag na konstruksyon ng TaC Coating Planetary Disk ay nagpapadali sa pagsasama sa mga umiiral nang system, na tinitiyak ang tuluy-tuloy na pagkakatugma at mahusay na operasyon. Ang maaasahang pagganap nito at mataas na kalidad na TaC coating ay nakakatulong sa pare-pareho at pare-parehong mga resulta sa mga proseso ng SiC epitaxy.

Pagkatiwalaan ang VeTek Semiconductor at ang aming TaC Coating Planetary Disk para sa pambihirang pagganap at pagiging maaasahan sa SiC epitaxy. Damhin ang mga pakinabang ng aming mga makabagong solusyon, na ipinoposisyon ka sa unahan ng mga teknolohikal na pagsulong sa industriya ng semiconductor.

TaC coating at SiC coating spare parts na ibinibigay namin:

Parameter ng produkto ng TaC Coating Planetary Susceptor:

Mga pisikal na katangian ng TaC coating
Densidad	14.3 (g/cm³)
Tukoy na emissivity	0.3
Thermal expansion coefficient	6.3 10-6/K
Katigasan (HK)	2000 HK
Paglaban	1×10-5 Ohm*cm
Thermal na katatagan	<2500℃
Mga pagbabago sa laki ng graphite	-10~-20um
Kapal ng patong	≥20um karaniwang halaga (35um±10um)