TaC Coating Chuck

Ang TaC Coating Chuck ng VeTek Semiconductor ay ang perpektong solusyon para sa pagkamit ng mga pambihirang resulta sa proseso ng SiC EPI. Sa pamamagitan ng TaC coating nito, mataas na temperatura, at chemical inertness, binibigyang kapangyarihan ka ng aming produkto na makagawa ng mga de-kalidad na kristal nang may katumpakan at pagiging maaasahan. Maligayang pagdating sa pagtatanong sa amin.

Ang TaC (tantalum carbide) ay isang materyal na karaniwang ginagamit upang pahiran ang ibabaw ng mga panloob na bahagi ng epitaxial equipment. Ito ay may mga sumusunod na katangian:

Napakahusay na paglaban sa mataas na temperatura: Ang mga coating ng TaC ay maaaring makatiis ng mga temperatura hanggang sa 2200°C, na ginagawa itong perpekto para sa mga aplikasyon sa mga kapaligiran na may mataas na temperatura tulad ng mga epitaxial reaction chamber.

Mataas na tigas: Ang tigas ng TaC ay umaabot sa humigit-kumulang 3000-4000 HV, na mas mahirap kaysa sa karaniwang ginagamit na hindi kinakalawang na asero o aluminyo na haluang metal, na maaaring epektibong maiwasan ang pagkasira sa ibabaw.

Malakas na katatagan ng kemikal: Mahusay na gumaganap ang TaC coating sa mga chemically corrosive na kapaligiran at maaaring lubos na pahabain ang buhay ng serbisyo ng mga bahagi ng epitaxial equipment.

Magandang electrical conductivity: Ang TaC coating ay may magandang electrical conductivity, na nakakatulong sa electrostatic release at heat conduction.

Ginagawa ng mga katangiang ito ang TaC coating na isang perpektong materyal para sa paggawa ng mga kritikal na bahagi tulad ng mga panloob na bushings, mga dingding ng reaction chamber, at mga elemento ng pag-init para sa epitaxial equipment. Sa pamamagitan ng paglalagay ng mga sangkap na ito ng TaC, ang pangkalahatang pagganap at buhay ng serbisyo ng epitaxial na kagamitan ay maaaring mapabuti.

Para sa silicon carbide epitaxy, ang TaC coating chunk ay maaari ding maglaro ng isang mahalagang papel. Ang ibabaw ng TaC coating ay makinis at siksik, na nakakatulong sa pagbuo ng mga de-kalidad na silicon carbide films. Kasabay nito, ang mahusay na thermal conductivity ng TaC ay maaaring makatulong na mapabuti ang pagkakapareho ng pamamahagi ng temperatura sa loob ng kagamitan, sa gayo'y pagpapabuti ng katumpakan ng pagkontrol sa temperatura ng proseso ng epitaxial, at sa huli ay nakakamit ang mas mataas na kalidad na paglaki ng silicon carbide epitaxial layer.

Parameter ng produkto ng TaC Coating Chunk:

Industrial Chain:

Tindahan ng Produksyon