TaC Coating Rotation Plate

Ipinagmamalaki ng TaC Coating Rotation Plate ng VeTek Semiconductor ang isang namumukod-tanging TaC coating, Sa pambihirang TaC coating nito, ipinagmamalaki ng TaC Coating Rotation Plate ang pagkakaroon ng kahanga-hangang mataas na temperatura na resistensya at chemical inertness, na nagtatakda nito sa mga tradisyonal na solusyon. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensya presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang TaC coating ng VeTek Semiconductor's Rotation Plate ay may mataas na purity na komposisyon, isang impurity content na mas mababa sa 5ppm, at isang siksik at pare-parehong istraktura, na malawakang ginagamit sa mga LPE EPI system, Aixtron system, Nuflare system, TEL CVD system, VEECO system, TSI mga sistema.

Napakahusay na mekanikal na katangian:

Ang tigas ng coating hanggang 2300HV, na may mahusay na wear resistance.

Ang pagdirikit sa pagitan ng patong at ng substrate ay malakas, at hindi madaling mahulog o mag-alis.

Ang patong ay maaari pa ring mapanatili ang mahusay na katatagan ng istruktura sa mataas na temperatura.

Napakahusay na paglaban sa kaagnasan:

Ang materyal ng TaC mismo ay may mahusay na katatagan ng kemikal at paglaban sa kaagnasan.

Mahusay na gumaganap ang mga coatings ng VeTek semiconductor sa iba't ibang agresibong kapaligiran ng gas.

Mabisang maprotektahan ang mga panloob na bahagi ng kagamitan mula sa pinsala sa kaagnasan.

Mataas na pagtatapos sa ibabaw:

Gumagamit ang VeTek semiconductor ng isang tumpak na proseso ng coating upang makagawa ng nais na tapusin.

Ang mababang pagkamagaspang sa ibabaw ay nakakatulong na mabawasan ang akumulasyon at pagtitiwalag ng butil.

Ang pagkakapare-pareho ng patong ay mabuti:

Ang VeTek Semiconductor ay may sound quality control system para matiyak ang pare-parehong performance sa pagitan ng mga batch.

Ang kapal ng patong ay pantay na ipinamamahagi at walang halatang mga lokal na depekto.

Napakahusay na pagganap ng praktikal na aplikasyon:

Ang TaC coating ng VeTek semiconductor ay malawakang ginagamit sa maraming kilalang epitaxial equipment manufacturer sa loob at labas ng bansa.

Parameter ng produkto ng TaC Coated Rotation Plate:

Mga pisikal na katangian ng TaC coating
Densidad	14.3 (g/cm³)
Tukoy na emissivity	0.3
Thermal expansion coefficient	6.3 10-6/K
Katigasan (HK)	2000 HK
Paglaban	1×10-5 Ohm*cm
Thermal na katatagan	<2500℃
Mga pagbabago sa laki ng graphite	-10~-20um
Kapal ng patong	≥20um karaniwang halaga (35um±10um)