TaC Coating Pedestal Support Plate

Ang VeTek Semiconductor ay China manufacturer at supplier na pangunahing gumagawa ng CVD TaC coating susceptors, Inlet ring, Wafer Chunck, TaC coated holder, TaC Coating Pedestal Support Plate na may maraming taon ng karanasan. Sana ay bumuo ng relasyon sa negosyo sa iyo.

Ang mga keramika ng TaC ay may melting point na hanggang 3880 ℃, mataas na tigas (Mohs hardness 9 ~ 10), malaking thermal conductivity (22W·m-1·K−1), malaking baluktot na lakas (340 ~ 400MPa), at maliit na thermal expansion coefficient (6.6×10−6K−1), at nagpapakita ng mahusay na thermochemical stability at mahusay na pisikal na katangian. Ito ay may mahusay na kemikal at mekanikal na pagkakatugma sa graphite at C/C composite na mga materyales, kaya ang TaC coating ay malawakang ginagamit sa aerospace thermal protection, single crystal growth at epitaxial reactors tulad ng Aixtron, LPE EPI reactor sa semiconductor industry. Ang TaC coated graphite ay may mas mahusay na chemical corrosion resistance kaysa sa bare stone ink o SiC coated graphite, maaaring magamit nang matatag sa 2200° mataas na temperatura, hindi tumutugon sa maraming elemento ng metal, ay ang ikatlong henerasyon ng semiconductor single crystal growth, epitaxy at wafer etching scene ng pinakamahusay na patong ng pagganap, ay maaaring makabuluhang mapabuti ang proseso ng temperatura at kontrol ng karumihan, Paghahanda ng mataas na kalidad na silicon carbide wafers at mga kaugnay na epitaxial wafers. Ito ay partikular na angkop para sa pagpapalaki ng GaN o AlN solong kristal sa MOCVD na kagamitan at SiC solong kristal sa PVT na kagamitan, at ang kalidad ng solong kristal na lumaki ay malinaw na napabuti.

TaC coating at SiC coating Mga ekstrang bahagi na maaari naming gawin:

Parameter ng TaC coating:

Industrial Chain:

Tindahan ng Produksyon