TaC Coating Spare Part

VeTek SemiconductorTaC Coating Plateay isang espesyal na materyal na malawakang ginagamit sasemiconductorproseso ng pagmamanupaktura. Kasama ng mataas na tigas at wear resistance, mataas na temperature resistance, corrosion resistance, mababang friction coefficient at magandang thermal conductivity, ang TaC Coating Plate ay gumaganap ng hindi maaaring palitan na papel sa maraming link ng pagproseso ng semiconductor.

Sa pangkalahatan, ang mga aplikasyon ngTaC coated platessa pagproseso ng semiconductor ay ang mga sumusunod:

CVD/ALD growth substrate: Ang mataas na temperatura na paglaban, katatagan ng kemikal at mababang friction coefficient ng TaC coated plates ay ginagawa silang mainam na mga substrate ng paglago ng CVD/ALD. Maaari itong magbigay ng isang matatag na kapaligiran sa paglago upang matiyak ang pagkakapareho at density ng pelikula.

Pag-ukit ng mask plate: Ang mataas na tigas at corrosion resistance ng TaC coated plates ay nagbibigay-daan sa kanila na makatiis ng mga prosesong may mataas na enerhiya tulad ng plasma etching, bilang etching mask plates, na nagpoprotekta sa pinagbabatayan na pelikula.

CMP polishing pad: Ang wear resistance at mababang friction coefficient ng TaC coated plates ay ginagawa silang mainam na materyales para sa CMP polishing pad, na maaaring epektibong mag-alis ng mga particle at depekto sa ibabaw ng pelikula.

Mataas na temperatura furnace tube: Ang mataas na temperatura na resistensya at corrosion resistance ng TaC coated plates ay nagbibigay-daan sa kanila na magamit bilang mga furnace tube sa mga high temperature furnace para sa mataas na temperatura na pagsusubo, diffusion at iba pang mga proseso.

Pinagsama sa mga katangian ng produkto ngTaC Coating Plate, tinutukoy nito na ang produktong ito ay gumaganap ng isang hindi mapapalitang mahalagang papel sa pagpapabuti ng pagganap ng device, pagpapahaba ng buhay ng kagamitan at pagpapabuti ng kahusayan sa produksyon. 

Bilang isang propesyonal na tagagawa ngGaN sa SiC epi acceptor, Porous GraphiteatTaC Coating Platesa China, palaging iginigiit ng VeTek Semiconductor ang pagbibigay ng mga customized na serbisyo ng produkto, at nakatuon sa pagbibigay sa industriya ng nangungunang teknolohiya at mga solusyon sa produkto. Taos-puso kaming umaasa sa iyong karagdagang konsultasyon.

Mga Teknikal na Parameter ng CVD TAC COATING：

Mga tindahan ng ekstrang bahagi ng TaC Coating：

Pangkalahatang-ideya ng chain ng industriya ng semiconductor chip epitaxy：