Bahay > Mga produkto > Tantalum Carbide Coating > Proseso ng SiC Epitaxy

China Proseso ng SiC Epitaxy Manufacturer, Supplier, Factory

Ang mga natatanging carbide coating ng VeTek Semiconductor ay nagbibigay ng higit na mahusay na proteksyon para sa mga bahagi ng graphite sa Proseso ng SiC Epitaxy para sa pagpoproseso ng mga hinihingi na semiconductor at composite na mga semiconductor na materyales. Ang resulta ay pinahabang buhay ng bahagi ng grapayt, pagpapanatili ng reaksyong stoichiometry, pagsugpo sa paglipat ng karumihan sa epitaxy at mga aplikasyon ng paglago ng kristal, na nagreresulta sa pagtaas ng ani at kalidad.

Pinoprotektahan ng aming mga tantalum carbide (TaC) coatings ang mga kritikal na bahagi ng furnace at reactor sa mataas na temperatura (hanggang 2200°C) mula sa mainit na ammonia, hydrogen, silicon vapors at molten metals. Ang VeTek Semiconductor ay may malawak na hanay ng mga kakayahan sa pagpoproseso at pagsukat ng grapayt upang matugunan ang iyong mga customized na pangangailangan, upang makapag-alok kami ng bayad na bayad na patong o buong serbisyo, kasama ang aming pangkat ng mga dalubhasang inhinyero na handang magdisenyo ng tamang solusyon para sa iyo at sa iyong partikular na aplikasyon .

Compound semiconductor crystals

Ang VeTek Semiconductor ay maaaring magbigay ng mga espesyal na TaC coating para sa iba't ibang bahagi at carrier. Sa pamamagitan ng nangunguna sa industriya ng proseso ng coating ng VeTek Semiconductor, ang TaC coating ay maaaring makakuha ng mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical resistance, sa gayon ay nagpapabuti sa kalidad ng produkto ng mga kristal na TaC/GaN) at EPl layer, at nagpapahaba ng buhay ng mga kritikal na bahagi ng reactor.

Mga thermal insulator

SiC, GaN at AlN crystal growth component kabilang ang mga crucibles, seed holder, deflector at filter. Industrial assemblies kabilang ang resistive heating elements, nozzles, shielding ring at brazing fixtures, GaN at SiC epitaxial CVD reactor component kabilang ang wafer carriers, satellite trays, shower heads, caps at pedestals, MOCVD component.


Layunin:

LED(Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor) Receiver

EPI Receptor (SiC Epitaxy Process)


Paghahambing ng SiC Coating at TaC Coating:

SiC TaC
Pangunahing Tampok Napakataas na kadalisayan, Napakahusay na paglaban sa Plasma Napakahusay na katatagan ng mataas na temperatura (pagsunod sa proseso ng mataas na temperatura)
Kadalisayan >99.9999% >99.9999%
Densidad (g/cm 3) 3.21 15
Katigasan (kg/mm ​​2) 2900-3300 6.7-7.2
Resistivity [Ωcm] 0.1-15,000 <1
Thermal conductivity (W/m-K) 200-360 22
Coefficient ng thermal expansion(10-6/℃) 4.5-5 6.3
Aplikasyon Semiconductor Equipment Ceramic jig(Focus Ring, Shower Head, Dummy Wafer) SiC Single crystal growth, Epi, UV LED Equipment parts


View as  
 
TaC Coating Plate

TaC Coating Plate

Ang TaC Coating Plate ng VeTek Semiconductor ay isang kahanga-hangang produkto na nag-aalok ng mga pambihirang tampok at pakinabang. Dinisenyo nang may katumpakan at ininhinyero sa pagiging perpekto, ang aming TaC Coating Plate ay partikular na iniakma para sa iba't ibang mga aplikasyon sa silicon carbide (SiC) na proseso ng paglaki ng solong kristal. Ang mga tumpak na sukat ng TaC Coating Plate at matatag na konstruksyon ay nagpapadali sa pagsasama sa mga umiiral nang system, na tinitiyak ang tuluy-tuloy na pagkakatugma at mahusay na operasyon. Ang maaasahang pagganap at mataas na kalidad na coating nito ay nag-aambag sa pare-pareho at pare-parehong mga resulta sa SiC crystal growth applications. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at ......

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
Cover na Patong ng CVD TaC

Cover na Patong ng CVD TaC

Ang CVD TaC coating cover na ibinigay ng VeTek Semiconductor ay isang napaka-espesyal na bahagi na partikular na idinisenyo para sa mga hinihingi na aplikasyon. Sa mga advanced na feature at pambihirang performance nito, nag-aalok ang aming CVD TaC coating cover ng ilang pangunahing bentahe. Ang aming CVD TaC coating cover ay nagbibigay ng kinakailangang proteksyon at pagganap na kinakailangan para sa tagumpay. Inaasahan naming tuklasin ang potensyal na pakikipagtulungan sa iyo!

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
TaC Coating Planetary Susceptor

TaC Coating Planetary Susceptor

Ang VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor ay isang pambihirang produkto para sa Aixtron epitaxy equipment. Ang matatag na TaC coating ay nagbibigay ng mahusay na mataas na temperatura na pagtutol at chemical inertness. Tinitiyak ng natatanging kumbinasyong ito ang maaasahang pagganap at mahabang buhay ng serbisyo, kahit na sa mga mahirap na kapaligiran. Nakatuon ang VeTek sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto at nagsisilbing pangmatagalang kasosyo sa merkado ng China na may mapagkumpitensyang pagpepresyo.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
TaC Coating Pedestal Support Plate

TaC Coating Pedestal Support Plate

Ang VeTek Semiconductor's TaC Coating Pedestal Support Plate ay isang high-precision na produkto na idinisenyo upang matugunan ang mga partikular na kinakailangan ng mga proseso ng semiconductor epitaxy. Sa pamamagitan ng TaC coating nito, mataas na temperatura na resistensya, at chemical inertness, binibigyang kapangyarihan ka ng aming produkto na makagawa ng mga de-kalidad na EPI layer na may mataas na kalidad. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
TaC Coating Chuck

TaC Coating Chuck

Ang TaC Coating Chuck ng VeTek Semiconductor ay nagtatampok ng mataas na kalidad na TaC coating, na kilala sa namumukod-tanging resistensya sa mataas na temperatura at kawalang-kilos ng kemikal, partikular sa mga proseso ng silicon carbide (SiC) epitaxy(EPI). Sa pambihirang mga tampok nito at mahusay na pagganap, ang aming TaC Coating Chuck ay nag-aalok ng ilang pangunahing bentahe. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
LPE SiC EPI Halfmoon

LPE SiC EPI Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon ng VeTek Semiconductor, isang rebolusyonaryong produkto na idinisenyo upang itaas ang mga proseso ng LPE reactor na SiC epitaxy. Ipinagmamalaki ng makabagong solusyon na ito ang ilang pangunahing tampok na nagsisiguro ng mahusay na pagganap at kahusayan sa iyong mga operasyon sa pagmamanupaktura. Inaasahan ang pag-set up ng pangmatagalang pakikipagtulungan sa iyo.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
<...23456>
Bilang isang propesyonal na Proseso ng SiC Epitaxy tagagawa at supplier sa China, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga customized na serbisyo upang matugunan ang mga partikular na pangangailangan ng iyong rehiyon o gusto mong bumili ng advanced at matibay Proseso ng SiC Epitaxy na gawa sa China, maaari kang mag-iwan sa amin ng mensahe.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept