China Proseso ng SiC Epitaxy Manufacturer, Supplier, Factory

Ang mga natatanging carbide coating ng VeTek Semiconductor ay nagbibigay ng higit na mahusay na proteksyon para sa mga bahagi ng graphite sa Proseso ng SiC Epitaxy para sa pagpoproseso ng mga hinihingi na semiconductor at composite na mga semiconductor na materyales. Ang resulta ay pinahabang buhay ng bahagi ng grapayt, pagpapanatili ng reaksyong stoichiometry, pagsugpo sa paglipat ng karumihan sa epitaxy at mga aplikasyon ng paglago ng kristal, na nagreresulta sa pagtaas ng ani at kalidad.

Pinoprotektahan ng aming mga tantalum carbide (TaC) coatings ang mga kritikal na bahagi ng furnace at reactor sa mataas na temperatura (hanggang 2200°C) mula sa mainit na ammonia, hydrogen, silicon vapors at molten metals. Ang VeTek Semiconductor ay may malawak na hanay ng mga kakayahan sa pagpoproseso at pagsukat ng grapayt upang matugunan ang iyong mga customized na pangangailangan, upang makapag-alok kami ng bayad na bayad na patong o buong serbisyo, kasama ang aming pangkat ng mga dalubhasang inhinyero na handang magdisenyo ng tamang solusyon para sa iyo at sa iyong partikular na aplikasyon .

Compound semiconductor crystals

Ang VeTek Semiconductor ay maaaring magbigay ng mga espesyal na TaC coating para sa iba't ibang bahagi at carrier. Sa pamamagitan ng nangunguna sa industriya ng proseso ng coating ng VeTek Semiconductor, ang TaC coating ay maaaring makakuha ng mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical resistance, sa gayon ay nagpapabuti sa kalidad ng produkto ng mga kristal na TaC/GaN) at EPl layer, at nagpapahaba ng buhay ng mga kritikal na bahagi ng reactor.

Mga thermal insulator

SiC, GaN at AlN crystal growth component kabilang ang mga crucibles, seed holder, deflector at filter. Industrial assemblies kabilang ang resistive heating elements, nozzles, shielding ring at brazing fixtures, GaN at SiC epitaxial CVD reactor component kabilang ang wafer carriers, satellite trays, shower heads, caps at pedestals, MOCVD component.

Layunin:

LED(Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor) Receiver

EPI Receptor (SiC Epitaxy Process)

TaC coated Satellite Susceptor TaC Coating Susceptor&Ring Mga bahagi ng TaC Coating Halfmoon Parts na may TaC Coating

Paghahambing ng SiC Coating at TaC Coating:

	SiC	TaC
Pangunahing Tampok	Napakataas na kadalisayan, Napakahusay na paglaban sa Plasma	Napakahusay na katatagan ng mataas na temperatura (pagsunod sa proseso ng mataas na temperatura)
Kadalisayan	>99.9999%	>99.9999%
Densidad (g/cm 3)	3.21	15
Katigasan (kg/mm 2)	2900-3300	6.7-7.2
Resistivity [Ωcm]	0.1-15,000	<1
Thermal conductivity (W/m-K)	200-360	22
Coefficient ng thermal expansion(10-6/℃)	4.5-5	6.3
Aplikasyon	Semiconductor Equipment Ceramic jig(Focus Ring, Shower Head, Dummy Wafer)	SiC Single crystal growth, Epi, UV LED Equipment parts

View as

CVD TaC Coating Carrier

Ang CVD TaC Coating carrier ng VeTek Semiconductor ay pangunahing idinisenyo para sa epitaxial na proseso ng paggawa ng semiconductor. Tinutukoy ng Ultra-high melting point ng CVD TaC Coating carrier, mahusay na corrosion resistance, at namumukod-tanging thermal stability ang pangangailangan ng produktong ito sa semiconductor epitaxial process. taos-puso kaming umaasa na bumuo ng pangmatagalang relasyon sa negosyo sa iyo.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

TaC Coating Guide Ring

Ang TaC Coating Guide Ring ng VeTek Semiconductor ay nilikha sa pamamagitan ng paglalagay ng tantalum carbide coating sa mga bahagi ng graphite gamit ang isang advanced na pamamaraan na tinatawag na chemical vapor deposition (CVD). Ang pamamaraang ito ay mahusay na itinatag at nag-aalok ng mga pambihirang katangian ng patong. Sa pamamagitan ng paggamit ng TaC Coating Guide Ring, ang habang-buhay ng mga bahagi ng grapayt ay maaaring mapalawak nang malaki, ang paggalaw ng mga dumi ng grapayt ay maaaring masugpo, at ang SiC at AIN na solong kristal na kalidad ay maaasahang mapanatili. Maligayang pagdating sa pagtatanong sa amin.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

TaC Coated Graphite Susceptor

Gumagamit ang VeTek Semiconductor's TaC Coated Graphite Susceptor ng chemical vapor deposition(CVD) na paraan upang maghanda ng tantalum carbide coating sa ibabaw ng mga bahagi ng graphite. Ang prosesong ito ay ang pinaka-mature at may pinakamahusay na mga katangian ng patong. Maaaring pahabain ng TaC Coated Graphite Susceptor ang buhay ng serbisyo ng mga bahagi ng graphite, pigilan ang paglipat ng mga impurities ng graphite, at tiyakin ang kalidad ng epitaxy. Inaasahan ng VeTek Semiconductor ang iyong pagtatanong.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

TaC Coating Susceptor

Itinatanghal ng VeTek Semiconductor ang TaC Coating Susceptor, Gamit ang pambihirang TaC coating nito, ang susceptor na ito ay nag-aalok ng maraming mga bentahe na naiiba ito sa mga nakasanayang solusyon. Walang putol na pagsasama sa mga umiiral nang system, ginagarantiyahan ng TaC Coating Susceptor mula sa VeTek Semiconductor ang pagiging tugma at mahusay na operasyon. Ang maaasahang pagganap at mataas na kalidad na TaC coating nito ay patuloy na naghahatid ng mga pambihirang resulta sa mga proseso ng SiC epitaxy. Nakatuon kami sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

TaC Coating Rotation Plate

Ipinagmamalaki ng TaC Coating Rotation Plate ng VeTek Semiconductor ang isang namumukod-tanging TaC coating, Sa pambihirang TaC coating nito, ipinagmamalaki ng TaC Coating Rotation Plate ang pagkakaroon ng kahanga-hangang mataas na temperatura na resistensya at chemical inertness, na nagtatakda nito sa mga tradisyonal na solusyon. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensya presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

TaC Coating Plate

Ang TaC Coating Plate ng VeTek Semiconductor ay isang kahanga-hangang produkto na nag-aalok ng mga pambihirang tampok at pakinabang. Dinisenyo nang may katumpakan at ininhinyero sa pagiging perpekto, ang aming TaC Coating Plate ay partikular na iniakma para sa iba't ibang mga aplikasyon sa silicon carbide (SiC) na proseso ng paglaki ng solong kristal. Ang mga tumpak na sukat ng TaC Coating Plate at matatag na konstruksyon ay nagpapadali sa pagsasama sa mga umiiral nang system, na tinitiyak ang tuluy-tuloy na pagkakatugma at mahusay na operasyon. Ang maaasahang pagganap at mataas na kalidad na coating nito ay nag-aambag sa pare-pareho at pare-parehong mga resulta sa SiC crystal growth applications. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at ......

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

<...2 3 4 5 6...7 >

Bilang isang propesyonal na Proseso ng SiC Epitaxy tagagawa at supplier sa China, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga customized na serbisyo upang matugunan ang mga partikular na pangangailangan ng iyong rehiyon o gusto mong bumili ng advanced at matibay Proseso ng SiC Epitaxy na gawa sa China, maaari kang mag-iwan sa amin ng mensahe.