Ang mga natatanging carbide coating ng VeTek Semiconductor ay nagbibigay ng higit na mahusay na proteksyon para sa mga bahagi ng graphite sa Proseso ng SiC Epitaxy para sa pagpoproseso ng mga hinihingi na semiconductor at composite na mga semiconductor na materyales. Ang resulta ay pinahabang buhay ng bahagi ng grapayt, pagpapanatili ng reaksyong stoichiometry, pagsugpo sa paglipat ng karumihan sa epitaxy at mga aplikasyon ng paglago ng kristal, na nagreresulta sa pagtaas ng ani at kalidad.
Pinoprotektahan ng aming mga tantalum carbide (TaC) coatings ang mga kritikal na bahagi ng furnace at reactor sa mataas na temperatura (hanggang 2200°C) mula sa mainit na ammonia, hydrogen, silicon vapors at molten metals. Ang VeTek Semiconductor ay may malawak na hanay ng mga kakayahan sa pagpoproseso at pagsukat ng grapayt upang matugunan ang iyong mga customized na pangangailangan, upang makapag-alok kami ng bayad na bayad na patong o buong serbisyo, kasama ang aming pangkat ng mga dalubhasang inhinyero na handang magdisenyo ng tamang solusyon para sa iyo at sa iyong partikular na aplikasyon .
Compound semiconductor crystals
Ang VeTek Semiconductor ay maaaring magbigay ng mga espesyal na TaC coating para sa iba't ibang bahagi at carrier. Sa pamamagitan ng nangunguna sa industriya ng proseso ng coating ng VeTek Semiconductor, ang TaC coating ay maaaring makakuha ng mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical resistance, sa gayon ay nagpapabuti sa kalidad ng produkto ng mga kristal na TaC/GaN) at EPl layer, at nagpapahaba ng buhay ng mga kritikal na bahagi ng reactor.
Mga thermal insulator
SiC, GaN at AlN crystal growth component kabilang ang mga crucibles, seed holder, deflector at filter. Industrial assemblies kabilang ang resistive heating elements, nozzles, shielding ring at brazing fixtures, GaN at SiC epitaxial CVD reactor component kabilang ang wafer carriers, satellite trays, shower heads, caps at pedestals, MOCVD component.
LED(Light Emitting Diode) Wafer Carrier
ALD(Semiconductor) Receiver
EPI Receptor (SiC Epitaxy Process)
TaC coated Satellite Susceptor TaC Coating Susceptor&Ring Mga bahagi ng TaC Coating Halfmoon Parts na may TaC Coating
SiC | TaC | |
Pangunahing Tampok | Napakataas na kadalisayan, Napakahusay na paglaban sa Plasma | Napakahusay na katatagan ng mataas na temperatura (pagsunod sa proseso ng mataas na temperatura) |
Kadalisayan | >99.9999% | >99.9999% |
Densidad (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Katigasan (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Resistivity [Ωcm] | 0.1-15,000 | <1 |
Thermal conductivity (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Coefficient ng thermal expansion(10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Aplikasyon | Semiconductor Equipment Ceramic jig(Focus Ring, Shower Head, Dummy Wafer) | SiC Single crystal growth, Epi, UV LED Equipment parts |
Ang CVD TaC coating cover na ibinigay ng VeTek Semiconductor ay isang highly specialized component na partikular na idinisenyo para sa mga demanding application. Sa mga advanced na feature at pambihirang performance nito, nag-aalok ang aming CVD TaC coating cover ng ilang pangunahing bentahe. Ang aming CVD TaC coating cover ay nagbibigay ng kinakailangang proteksyon at pagganap na kinakailangan para sa tagumpay. Inaasahan naming tuklasin ang potensyal na pakikipagtulungan sa iyo!
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor ay isang pambihirang produkto para sa Aixtron epitaxy equipment. Ang matatag na TaC coating ay nagbibigay ng mahusay na mataas na temperatura na pagtutol at chemical inertness. Tinitiyak ng natatanging kumbinasyong ito ang maaasahang pagganap at mahabang buhay ng serbisyo, kahit na sa mga mahirap na kapaligiran. Nakatuon ang VeTek sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto at nagsisilbing pangmatagalang kasosyo sa merkado ng China na may mapagkumpitensyang pagpepresyo.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor's TaC Coating Pedestal Support Plate ay isang high-precision na produkto na idinisenyo upang matugunan ang mga partikular na kinakailangan ng mga proseso ng semiconductor epitaxy. Sa pamamagitan ng TaC coating nito, mataas na temperatura na resistensya, at chemical inertness, binibigyang kapangyarihan ka ng aming produkto na makagawa ng mga de-kalidad na EPI layer na may mataas na kalidad. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng TaC Coating Chuck ng VeTek Semiconductor ay nagtatampok ng mataas na kalidad na TaC coating, na kilala sa namumukod-tanging resistensya sa mataas na temperatura at kawalang-kilos ng kemikal, partikular sa mga proseso ng silicon carbide (SiC) epitaxy(EPI). Sa pambihirang mga tampok nito at mahusay na pagganap, ang aming TaC Coating Chuck ay nag-aalok ng ilang pangunahing bentahe. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng InquiryLPE SiC Epi Halfmoon ng VeTek Semiconductor, isang rebolusyonaryong produkto na idinisenyo upang itaas ang mga proseso ng LPE reactor na SiC epitaxy. Ipinagmamalaki ng makabagong solusyon na ito ang ilang pangunahing tampok na nagsisiguro ng mahusay na pagganap at kahusayan sa iyong mga operasyon sa pagmamanupaktura. Inaasahan ang pag-set up ng pangmatagalang pakikipagtulungan sa iyo.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay ang nangungunang tagagawa at supplier sa China para sa Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, dalubhasa namin sa R&D at produksyon, makokontrol nang maayos ang kalidad at nag-aalok ng mapagkumpitensyang presyo. Inaanyayahan kang bumisita sa aming pabrika para sa karagdagang talakayan sa isang pangmatagalang kooperasyon.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry