China Proseso ng SiC Epitaxy Manufacturer, Supplier, Factory

Ang mga natatanging carbide coating ng VeTek Semiconductor ay nagbibigay ng higit na mahusay na proteksyon para sa mga bahagi ng graphite sa Proseso ng SiC Epitaxy para sa pagpoproseso ng mga hinihingi na semiconductor at composite na mga semiconductor na materyales. Ang resulta ay pinahabang buhay ng bahagi ng grapayt, pagpapanatili ng reaksyong stoichiometry, pagsugpo sa paglipat ng karumihan sa epitaxy at mga aplikasyon ng paglago ng kristal, na nagreresulta sa pagtaas ng ani at kalidad.

Pinoprotektahan ng aming mga tantalum carbide (TaC) coatings ang mga kritikal na bahagi ng furnace at reactor sa mataas na temperatura (hanggang 2200°C) mula sa mainit na ammonia, hydrogen, silicon vapors at molten metals. Ang VeTek Semiconductor ay may malawak na hanay ng mga kakayahan sa pagpoproseso at pagsukat ng grapayt upang matugunan ang iyong mga customized na pangangailangan, upang makapag-alok kami ng bayad na bayad na patong o buong serbisyo, kasama ang aming pangkat ng mga dalubhasang inhinyero na handang magdisenyo ng tamang solusyon para sa iyo at sa iyong partikular na aplikasyon .

Compound semiconductor crystals

Ang VeTek Semiconductor ay maaaring magbigay ng mga espesyal na TaC coating para sa iba't ibang bahagi at carrier. Sa pamamagitan ng nangunguna sa industriya ng proseso ng coating ng VeTek Semiconductor, ang TaC coating ay maaaring makakuha ng mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical resistance, sa gayon ay nagpapabuti sa kalidad ng produkto ng mga kristal na TaC/GaN) at EPl layer, at nagpapahaba ng buhay ng mga kritikal na bahagi ng reactor.

Mga thermal insulator

SiC, GaN at AlN crystal growth component kabilang ang mga crucibles, seed holder, deflector at filter. Industrial assemblies kabilang ang resistive heating elements, nozzles, shielding ring at brazing fixtures, GaN at SiC epitaxial CVD reactor component kabilang ang wafer carriers, satellite trays, shower heads, caps at pedestals, MOCVD component.

Layunin:

LED(Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor) Receiver

EPI Receptor (SiC Epitaxy Process)

TaC coated Satellite Susceptor TaC Coating Susceptor&Ring Mga bahagi ng TaC Coating Halfmoon Parts na may TaC Coating

Paghahambing ng SiC Coating at TaC Coating:

	SiC	TaC
Pangunahing Tampok	Napakataas na kadalisayan, Napakahusay na paglaban sa Plasma	Napakahusay na katatagan ng mataas na temperatura (pagsunod sa proseso ng mataas na temperatura)
Kadalisayan	>99.9999%	>99.9999%
Densidad (g/cm 3)	3.21	15
Katigasan (kg/mm 2)	2900-3300	6.7-7.2
Resistivity [Ωcm]	0.1-15,000	<1
Thermal conductivity (W/m-K)	200-360	22
Coefficient ng thermal expansion(10-6/℃)	4.5-5	6.3
Aplikasyon	Semiconductor Equipment Ceramic jig(Focus Ring, Shower Head, Dummy Wafer)	SiC Single crystal growth, Epi, UV LED Equipment parts

View as

Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon

Ang VeTek Semiconductor ay ang nangungunang tagagawa at supplier sa China para sa Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, dalubhasa namin sa R&D at produksyon, makokontrol nang maayos ang kalidad at nag-aalok ng mapagkumpitensyang presyo. Inaanyayahan kang bumisita sa aming pabrika para sa karagdagang talakayan sa isang pangmatagalang kooperasyon.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

TaC Coated Three-petal Ring

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang TaC Coated Three-petal Ring manufacturer at innovator sa China. Kami ay dalubhasa sa TaC at SiC coating sa loob ng maraming taon. Ang aming mga produkto ay may corrosion resistance, mataas na lakas. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

Tantalum Carbide Coated Chuck

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at innovator ng Tantalum Carbide Coated Chuck sa China. Kami ay dalubhasa sa TaC coating sa loob ng maraming taon. Ang aming mga produkto ay may mataas na kadalisayan at mataas na temperatura na panlaban hanggang sa 2000 ℃. Inaasahan namin na maging iyong pangmatagalan partner sa China.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

Tantalum Carbide Coated Cover

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at innovator ng Tantalum Carbide Coated Cover sa China. Kami ay dalubhasa sa TaC at SiC coating sa loob ng maraming taon. Ang aming mga produkto ay may resistensya sa kaagnasan, mataas na lakas. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang supplier ng customized na Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon sa China, na dalubhasa sa mga advanced na materyales sa loob ng maraming taon. Ang aming Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon ay partikular na idinisenyo para sa SiC epitaxial equipment, na tinitiyak ang mahusay na pagganap. Ginawa mula sa ultra-pure imported graphite, nag-aalok ito ng pagiging maaasahan at tibay. Bisitahin ang aming factory sa China para tuklasin ang aming de-kalidad na Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon nang direkta.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

Pinahiran ng SiC ang Upper Halfmoon Part

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang supplier ng customized na Upper Halfmoon Part SiC coated sa China, na nag-specialize sa mga advanced na materyales sa loob ng mahigit 20 taon. Ang VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC coated ay partikular na idinisenyo para sa SiC epitaxial equipment, na nagsisilbing mahalagang bahagi sa reaction chamber. Ginawa mula sa ultra-pure, semiconductor-grade graphite, tinitiyak nito ang mahusay na pagganap. Inaanyayahan ka naming bisitahin ang aming pabrika sa China.

Magbasa pa Magpadala ng Inquiry

<...2 3 4 5 6 >

Bilang isang propesyonal na Proseso ng SiC Epitaxy tagagawa at supplier sa China, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga customized na serbisyo upang matugunan ang mga partikular na pangangailangan ng iyong rehiyon o gusto mong bumili ng advanced at matibay Proseso ng SiC Epitaxy na gawa sa China, maaari kang mag-iwan sa amin ng mensahe.