Ang mga natatanging carbide coating ng VeTek Semiconductor ay nagbibigay ng higit na mahusay na proteksyon para sa mga bahagi ng graphite sa Proseso ng SiC Epitaxy para sa pagpoproseso ng mga hinihingi na semiconductor at composite na mga semiconductor na materyales. Ang resulta ay pinahabang buhay ng bahagi ng grapayt, pagpapanatili ng reaksyong stoichiometry, pagsugpo sa paglipat ng karumihan sa epitaxy at mga aplikasyon ng paglago ng kristal, na nagreresulta sa pagtaas ng ani at kalidad.
Pinoprotektahan ng aming mga tantalum carbide (TaC) coatings ang mga kritikal na bahagi ng furnace at reactor sa mataas na temperatura (hanggang 2200°C) mula sa mainit na ammonia, hydrogen, silicon vapors at molten metals. Ang VeTek Semiconductor ay may malawak na hanay ng mga kakayahan sa pagpoproseso at pagsukat ng grapayt upang matugunan ang iyong mga customized na pangangailangan, upang makapag-alok kami ng bayad na bayad na patong o buong serbisyo, kasama ang aming pangkat ng mga dalubhasang inhinyero na handang magdisenyo ng tamang solusyon para sa iyo at sa iyong partikular na aplikasyon .
Compound semiconductor crystals
Ang VeTek Semiconductor ay maaaring magbigay ng mga espesyal na TaC coating para sa iba't ibang bahagi at carrier. Sa pamamagitan ng nangunguna sa industriya ng proseso ng coating ng VeTek Semiconductor, ang TaC coating ay maaaring makakuha ng mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical resistance, sa gayon ay nagpapabuti sa kalidad ng produkto ng mga kristal na TaC/GaN) at EPl layer, at nagpapahaba ng buhay ng mga kritikal na bahagi ng reactor.
Mga thermal insulator
SiC, GaN at AlN crystal growth component kabilang ang mga crucibles, seed holder, deflector at filter. Industrial assemblies kabilang ang resistive heating elements, nozzles, shielding ring at brazing fixtures, GaN at SiC epitaxial CVD reactor component kabilang ang wafer carriers, satellite trays, shower heads, caps at pedestals, MOCVD component.
LED(Light Emitting Diode) Wafer Carrier
ALD(Semiconductor) Receiver
EPI Receptor (SiC Epitaxy Process)
TaC coated Satellite Susceptor TaC Coating Susceptor&Ring Mga bahagi ng TaC Coating Halfmoon Parts na may TaC Coating
SiC | TaC | |
Pangunahing Tampok | Napakataas na kadalisayan, Napakahusay na paglaban sa Plasma | Napakahusay na katatagan ng mataas na temperatura (pagsunod sa proseso ng mataas na temperatura) |
Kadalisayan | >99.9999% | >99.9999% |
Densidad (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Katigasan (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Resistivity [Ωcm] | 0.1-15,000 | <1 |
Thermal conductivity (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Coefficient ng thermal expansion(10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Aplikasyon | Semiconductor Equipment Ceramic jig(Focus Ring, Shower Head, Dummy Wafer) | SiC Single crystal growth, Epi, UV LED Equipment parts |
Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at innovator ng TaC Coating Heater sa China. Ang produktong ito ay may napakataas na punto ng pagkatunaw (mga 3880°C). Ang mataas na melting point ng TaC Coating Heater ay nagbibigay-daan dito na gumana sa napakataas na temperatura, lalo na sa paglaki ng gallium nitride (GaN) epitaxial layer sa proseso ng metal organic chemical vapor deposition (MOCVD). Ang VeTek Semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng advanced na teknolohiya at mga solusyon sa produkto para sa industriya ng semiconductor. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng InquiryBilang isang propesyonal na tagagawa at supplier ng TaC Coated Chuck sa China, ang TaC Coating Chuck ng VeTek Semiconductor ay partikular na idinisenyo para sa mga semiconductor furnace. Sa mataas na paglaban sa temperatura, kawalang-kilos ng kemikal at mahusay na pagganap, ang makabagong teknolohiya ng Vetek Semiconductor ay nagbibigay ng maaasahang solusyon para sa industriya ng pagmamanupaktura ng semiconductor upang matiyak ang mataas na kalidad ng mga pamantayan ng produksyon. Naniniwala kami na ang aming mga produkto ay maaaring magdala sa iyo ng advanced na teknolohiya at mataas na kalidad na mga solusyon sa produkto.
Magbasa paMagpadala ng InquiryBilang isang propesyonal na tagagawa at supplier ng TaC Coating Tube sa China, ang TaC coating tube ng VeTek Semiconductor ay isang mahalagang bahagi para sa matagumpay na paglaki ng mga single crystal na silicon carbide. Dahil sa mataas na temperatura na panlaban nito, chemical inertness at mahusay na performance, tinitiyak nito ang paggawa ng mga de-kalidad na kristal na may pare-parehong resulta. Magtiwala sa aming mga makabagong solusyon para mapahusay ang iyong PVT method na SiC crystal growth process at makamit ang mahuhusay na resulta. Maligayang pagdating sa pagtatanong sa amin.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa, innovator at pinuno ng CVD TAC Coating sa China. Sa loob ng maraming taon, nakatuon kami sa iba't ibang produkto ng CVD TAC Coating tulad ng CVD TaC coating cover, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating carrier, atbp. Sinusuportahan ng VeTek Semiconductor ang mga customized na serbisyo ng produkto at kasiya-siyang presyo ng produkto, at inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa ng TaC Coating Plate at iba pang ekstrang bahagi ng TaC Coating sa China. Ang TaC Coating ay kasalukuyang pangunahing ginagamit sa mga proseso tulad ng silicon carbide single crystal growth (PVT method), epitaxial disk (kabilang ang silicon carbide epitaxy, LED epitaxy), atbp. Kasama ang magandang pangmatagalang katatagan ng TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Ang Coating Plate ay naging benchmark para sa mga ekstrang bahagi ng TaC Coating. Inaasahan namin na ikaw ay maging aming pangmatagalang kasosyo.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa ng GaN sa SiC epi susceptor, CVD SiC coating, at CVD TAC COATING graphite susceptor sa China. Kabilang sa mga ito, ang GaN sa SiC epi susceptor ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pagproseso ng semiconductor. Sa pamamagitan ng mahusay na thermal conductivity nito, kakayahan sa pagproseso ng mataas na temperatura at katatagan ng kemikal, tinitiyak nito ang mataas na kahusayan at kalidad ng materyal ng proseso ng paglago ng epitaxial ng GaN. Taos-puso kaming umaasa sa iyong karagdagang konsultasyon.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry