Patong ng CVD TAC

Ang CVD TaC Coating (chemical vapor deposition tantalum carbide coating) ay isang produktong patong na pangunahing binubuo ng tantalum carbide (TaC). Ang TaC coating ay may napakataas na tigas, wear resistance, at mataas na temperature resistance, na ginagawa itong perpektong pagpipilian para sa pagprotekta sa mga pangunahing bahagi ng kagamitan at pagpapabuti ng pagiging maaasahan ng proseso. Ito ay isang kailangang-kailangan na materyal sa pagproseso ng semiconductor.

Ang mga produkto ng CVD TaC Coating ay karaniwang ginagamit sa mga reaction chamber, wafer carrier, at etching equipment, at ginagampanan ang mga sumusunod na pangunahing tungkulin sa mga ito.

Ang CVD TaC coating ay kadalasang ginagamit para sa mga panloob na bahagi ng mga reaction chamber tulad ng mga substrate, wall panel, at heating elements. Kasama ng napakahusay na paglaban nito sa mataas na temperatura, mabisa nitong mapaglabanan ang pagguho ng mataas na temperatura, mga kinakaing unti-unti na gas at plasma, sa gayo'y epektibong pinahaba ang buhay ng serbisyo ng kagamitan at tinitiyak ang katatagan ng proseso at kadalisayan ng produksyon ng produkto.

Bilang karagdagan, ang mga carrier ng wafer na pinahiran ng TaC (tulad ng mga quartz boat, fixtures, atbp.) ay mayroon ding mahusay na paglaban sa init at paglaban sa kaagnasan ng kemikal. Ang wafer carrier ay maaaring magbigay ng maaasahang suporta para sa wafer sa mataas na temperatura, maiwasan ang kontaminasyon at pagpapapangit ng wafer, at sa gayon ay mapabuti ang pangkalahatang ani ng chip.

Bukod dito, ang TaC coating ng VeTek Semiconductor ay malawak ding ginagamit sa iba't ibang etching at thin film deposition equipment, tulad ng mga plasma etcher, chemical vapor deposition system, atbp. Sa mga processing system na ito, ang CVD TAC Coating ay maaaring makatiis ng high-energy ion bombardment at malakas na kemikal na reaksyon. , sa gayon ay tinitiyak ang katumpakan at pag-uulit ng proseso.

Anuman ang iyong mga partikular na pangangailangan, tutugma kami sa pinakamahusay na solusyon para sa iyong mga pangangailangan sa CVD TAC Coating at aasahan ang iyong konsultasyon anumang oras.

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD TAC Coating:

Mga tindahan ng produkto ng VeTek Semiconductor CVD TAC Coating:

Pangkalahatang-ideya ng chain ng industriya ng semiconductor chip epitaxy: