Bahay > Mga produkto > Tantalum Carbide Coating > Proseso ng SiC Epitaxy

China Proseso ng SiC Epitaxy Manufacturer, Supplier, Factory

Ang mga natatanging carbide coating ng VeTek Semiconductor ay nagbibigay ng higit na mahusay na proteksyon para sa mga bahagi ng graphite sa Proseso ng SiC Epitaxy para sa pagpoproseso ng mga hinihingi na semiconductor at composite na mga semiconductor na materyales. Ang resulta ay pinahabang buhay ng bahagi ng grapayt, pagpapanatili ng reaksyong stoichiometry, pagsugpo sa paglipat ng karumihan sa epitaxy at mga aplikasyon ng paglago ng kristal, na nagreresulta sa pagtaas ng ani at kalidad.

Pinoprotektahan ng aming mga tantalum carbide (TaC) coatings ang mga kritikal na bahagi ng furnace at reactor sa mataas na temperatura (hanggang 2200°C) mula sa mainit na ammonia, hydrogen, silicon vapors at molten metals. Ang VeTek Semiconductor ay may malawak na hanay ng mga kakayahan sa pagpoproseso at pagsukat ng grapayt upang matugunan ang iyong mga customized na pangangailangan, upang makapag-alok kami ng bayad na bayad na patong o buong serbisyo, kasama ang aming pangkat ng mga dalubhasang inhinyero na handang magdisenyo ng tamang solusyon para sa iyo at sa iyong partikular na aplikasyon .

Compound semiconductor crystals

Ang VeTek Semiconductor ay maaaring magbigay ng mga espesyal na TaC coating para sa iba't ibang bahagi at carrier. Sa pamamagitan ng nangunguna sa industriya ng proseso ng coating ng VeTek Semiconductor, ang TaC coating ay maaaring makakuha ng mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical resistance, sa gayon ay nagpapabuti sa kalidad ng produkto ng mga kristal na TaC/GaN) at EPl layer, at nagpapahaba ng buhay ng mga kritikal na bahagi ng reactor.

Mga thermal insulator

SiC, GaN at AlN crystal growth component kabilang ang mga crucibles, seed holder, deflector at filter. Industrial assemblies kabilang ang resistive heating elements, nozzles, shielding ring at brazing fixtures, GaN at SiC epitaxial CVD reactor component kabilang ang wafer carriers, satellite trays, shower heads, caps at pedestals, MOCVD component.


Layunin:

LED(Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor) Receiver

EPI Receptor (SiC Epitaxy Process)


Paghahambing ng SiC Coating at TaC Coating:

SiC TaC
Pangunahing Tampok Napakataas na kadalisayan, Napakahusay na paglaban sa Plasma Napakahusay na katatagan ng mataas na temperatura (pagsunod sa proseso ng mataas na temperatura)
Kadalisayan >99.9999% >99.9999%
Densidad (g/cm 3) 3.21 15
Katigasan (kg/mm ​​2) 2900-3300 6.7-7.2
Resistivity [Ωcm] 0.1-15,000 <1
Thermal conductivity (W/m-K) 200-360 22
Coefficient ng thermal expansion(10-6/℃) 4.5-5 6.3
Aplikasyon Semiconductor Equipment Ceramic jig(Focus Ring, Shower Head, Dummy Wafer) SiC Single crystal growth, Epi, UV LED Equipment parts


View as  
 
CVD TaC Coating Wafer Carrier

CVD TaC Coating Wafer Carrier

Bilang isang propesyonal na tagagawa at pabrika ng produkto ng CVD TaC Coating Wafer Carrier sa China, ang VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier ay isang tool sa pagdadala ng wafer na espesyal na idinisenyo para sa mataas na temperatura at mga corrosive na kapaligiran sa paggawa ng semiconductor. Ang produktong ito ay may mataas na mekanikal na lakas, mahusay na corrosion resistance at thermal stability, na nagbibigay ng kinakailangang garantiya para sa paggawa ng mga de-kalidad na semiconductor device. Ang iyong mga karagdagang katanungan ay malugod na tinatanggap.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
TaC Coating Heater

TaC Coating Heater

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at innovator ng TaC Coating Heater sa China. Ang produktong ito ay may napakataas na punto ng pagkatunaw (mga 3880°C). Ang mataas na melting point ng TaC Coating Heater ay nagbibigay-daan dito na gumana sa napakataas na temperatura, lalo na sa paglaki ng gallium nitride (GaN) epitaxial layer sa proseso ng metal organic chemical vapor deposition (MOCVD). Ang VeTek Semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng advanced na teknolohiya at mga solusyon sa produkto para sa industriya ng semiconductor. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
TaC Coated Chuck

TaC Coated Chuck

Bilang isang propesyonal na tagagawa at supplier ng TaC Coated Chuck sa China, ang TaC Coating Chuck ng VeTek Semiconductor ay partikular na idinisenyo para sa mga semiconductor furnace. Sa mataas na paglaban sa temperatura, kawalang-kilos ng kemikal at mahusay na pagganap, ang makabagong teknolohiya ng Vetek Semiconductor ay nagbibigay ng maaasahang solusyon para sa industriya ng pagmamanupaktura ng semiconductor upang matiyak ang mataas na kalidad ng mga pamantayan ng produksyon. Naniniwala kami na ang aming mga produkto ay maaaring magdala sa iyo ng advanced na teknolohiya at mataas na kalidad na mga solusyon sa produkto.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
TaC Coating Tube

TaC Coating Tube

Bilang isang propesyonal na tagagawa at supplier ng TaC Coating Tube sa China, ang TaC coating tube ng VeTek Semiconductor ay isang mahalagang bahagi para sa matagumpay na paglaki ng mga single crystal na silicon carbide. Dahil sa mataas na temperatura na panlaban nito, chemical inertness at mahusay na performance, tinitiyak nito ang paggawa ng mga de-kalidad na kristal na may pare-parehong resulta. Magtiwala sa aming mga makabagong solusyon para mapahusay ang iyong PVT method na SiC crystal growth process at makamit ang mahuhusay na resulta. Maligayang pagdating sa pagtatanong sa amin.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
Patong ng CVD TAC

Patong ng CVD TAC

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa, innovator at pinuno ng CVD TAC Coating sa China. Sa loob ng maraming taon, nakatuon kami sa iba't ibang produkto ng CVD TAC Coating tulad ng CVD TaC coating cover, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating carrier, atbp. Sinusuportahan ng VeTek Semiconductor ang mga customized na serbisyo ng produkto at kasiya-siyang presyo ng produkto, at inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
TaC Coating Spare Part

TaC Coating Spare Part

Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa ng TaC Coating Plate at iba pang ekstrang bahagi ng TaC Coating sa China. Ang TaC Coating ay kasalukuyang pangunahing ginagamit sa mga proseso tulad ng silicon carbide single crystal growth (PVT method), epitaxial disk (kabilang ang silicon carbide epitaxy, LED epitaxy), atbp. Kasama ang magandang pangmatagalang katatagan ng TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Ang Coating Plate ay naging benchmark para sa mga ekstrang bahagi ng TaC Coating. Inaasahan namin na ikaw ay maging aming pangmatagalang kasosyo.

Magbasa paMagpadala ng Inquiry
Bilang isang propesyonal na Proseso ng SiC Epitaxy tagagawa at supplier sa China, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga customized na serbisyo upang matugunan ang mga partikular na pangangailangan ng iyong rehiyon o gusto mong bumili ng advanced at matibay Proseso ng SiC Epitaxy na gawa sa China, maaari kang mag-iwan sa amin ng mensahe.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept