Ang Oxidation and Diffusion Furnace ay ginagamit sa iba't ibang larangan tulad ng mga semiconductor device, discrete device, optoelectronic device, power electronic device, solar cell, at large-scale integrated circuit manufacturing. Ginagamit ang mga ito para sa mga proseso kabilang ang diffusion, oxidation, annealing, alloying, at sintering ng mga wafer.
Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa na nag-specialize sa paggawa ng high-purity graphite, silicon carbide at mga bahagi ng quartz sa oxidation at diffusion furnace. Nakatuon kami sa pagbibigay ng mga de-kalidad na bahagi ng furnace para sa semiconductor at photovoltaic na industriya, at nangunguna kami sa teknolohiya ng surface coating, gaya ng CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon, atbp.
Mataas na pagtutol sa temperatura (hanggang sa 1600 ℃)
Napakahusay na thermal conductivity at thermal stability
Magandang paglaban sa kaagnasan ng kemikal
Mababang koepisyent ng thermal expansion
Mataas na lakas at tigas
Mahabang buhay ng serbisyo
Sa oxidation at diffusion furnaces, dahil sa pagkakaroon ng mataas na temperatura at mga corrosive na gas, maraming mga bahagi ang nangangailangan ng paggamit ng mataas na temperatura at corrosion-resistant na mga materyales, kung saan ang silicon carbide (SiC) ay isang karaniwang ginagamit na pagpipilian. Ang mga sumusunod ay karaniwang mga bahagi ng silicon carbide na matatagpuan sa mga oxidation furnace at diffusion furnace:
Wafer Bangka
Ang Silicon carbide wafer boat ay isang lalagyan na ginagamit upang magdala ng mga silicon na wafer, na makatiis sa mataas na temperatura at hindi tumutugon sa mga silicon na wafer.
Tubong Pugon
Ang furnace tube ay ang pangunahing bahagi ng diffusion furnace, na ginagamit upang mapaunlakan ang mga wafer ng silikon at kontrolin ang kapaligiran ng reaksyon. Ang Silicon carbide furnace tubes ay may mahusay na mataas na temperatura at pagganap ng paglaban sa kaagnasan.
Baffle Plate
Ginagamit upang ayusin ang daloy ng hangin at pamamahagi ng temperatura sa loob ng pugon
Thermocouple Protection Tube
Ginagamit upang protektahan ang mga thermocouples sa pagsukat ng temperatura mula sa direktang kontak sa mga kinakaing unti-unti na gas.
Cantilever Paddle
Ang mga silicon carbide cantilever paddle ay lumalaban sa mataas na temperatura at kaagnasan, at ginagamit upang maghatid ng mga silicon boat o mga quartz boat na nagdadala ng mga silicon na wafer sa mga diffusion furnace tubes.
Gas Injector
Ginagamit upang ipasok ang reaksyon ng gas sa pugon, kailangan itong lumalaban sa mataas na temperatura at kaagnasan.
Tagapagdala ng Bangka
Ang Silicon carbide wafer boat carrier ay ginagamit upang ayusin at suportahan ang mga silicon na wafer, na may mga pakinabang tulad ng mataas na lakas, resistensya sa kaagnasan, at mahusay na katatagan ng istruktura.
Pinto ng Pugon
Ang mga silicone carbide coating o mga bahagi ay maaari ding gamitin sa loob ng pinto ng furnace.
Elemento ng Pag-init
Ang mga elemento ng pag-init ng Silicon carbide ay angkop para sa mataas na temperatura, mataas na kapangyarihan, at maaaring mabilis na itaas ang temperatura sa higit sa 1000 ℃.
SiC Liner
Ginagamit upang protektahan ang panloob na dingding ng mga tubo ng furnace, makakatulong ito na mabawasan ang pagkawala ng enerhiya ng init at makatiis sa malupit na kapaligiran tulad ng mataas na temperatura at mataas na presyon.
Ang SiC Cantilever Paddle ng VeTek Semiconductor ay isang napakataas na pagganap ng produkto. Ang aming SiC Cantilever Paddle ay kadalasang ginagamit sa mga heat treatment furnace para sa paghawak at pagsuporta sa mga silicon na wafer, chemical vapor deposition (CVD) at iba pang proseso ng pagproseso sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang mataas na temperatura na katatagan at mataas na thermal conductivity ng SiC na materyal ay nagsisiguro ng mataas na kahusayan at pagiging maaasahan sa proseso ng pagproseso ng semiconductor. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa China para sa silicon carbide wafer boat para sa horizontal furnace, na may mga taon ng karanasan sa R&D at produksyon, kayang kontrolin nang mabuti ang kalidad at nag-aalok ng mapagkumpitensyang presyo. Makakaasa ka na bumili ng silicon carbide wafer boat para sa horizontal furnace mula sa amin.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor ay propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa China para sa SiC coated silicon carbide wafer boat, na may maraming taon ng karanasan sa R&D at produksyon, ay kayang kontrolin ang kalidad at nag-aalok ng mapagkumpitensyang presyo. Maligayang pagdating sa pagbisita sa aming pabrika at magkaroon ng karagdagang talakayan sa pakikipagtulungan.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng Silicon Carbide Cantilever Paddle ng VeTek Semiconductor ay isang mahalagang bahagi sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, lalo na angkop para sa mga diffusion furnace o LPCVD furnace sa mga prosesong may mataas na temperatura tulad ng diffusion at RTP. Ang aming Silicon Carbide Cantilever Paddle ay maingat na idinisenyo at ginawa na may mahusay na mataas na temperatura na resistensya at mekanikal na lakas, at maaaring ligtas at mapagkakatiwalaang maghatid ng mga wafer sa proseso ng tubo sa ilalim ng malupit na mga kondisyon ng proseso para sa iba't ibang mga prosesong may mataas na temperatura tulad ng diffusion at RTP. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng VeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier ay mahalagang bahagi sa pagpoproseso ng semiconductor, na idinisenyo upang ligtas na hawakan at dalhin ang mga pinong silicon na wafer, na gumaganap ng mahalagang papel sa lahat ng yugto ng pagmamanupaktura. Ang High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier ng VeTek Semiconductor ay maingat na idinisenyo at ginawa upang matiyak ang mahusay na pagganap at pagiging maaasahan. Ang VeTek Semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo, at inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng InquiryAng high-purity Silicon Carbide Wafer Boat ng VeTek Semiconductor ay gawa sa napakadalisay na materyal na silicon carbide na may mahusay na thermal stability, mekanikal na lakas at chemical resistance. Ang high-purity na Silicon Carbide Wafer Boat ay ginagamit sa mga aplikasyon ng hot zone sa paggawa ng semiconductor, lalo na sa mga kapaligirang may mataas na temperatura, at gumaganap ng mahalagang papel sa pagprotekta sa mga wafer, pagdadala ng mga materyales at pagpapanatili ng mga matatag na proseso. Ang VeTek Semiconductor ay patuloy na magsisikap na magbago at mapabuti ang pagganap ng mataas na kadalisayan ng Silicon Carbide Wafer Boat upang matugunan ang mga umuusbong na pangangailangan ng paggawa ng semiconductor. Inaasahan naming maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Magbasa paMagpadala ng Inquiry