Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa China para sa silicon carbide wafer boat para sa horizontal furnace, na may mga taon ng karanasan sa R&D at produksyon, kayang kontrolin nang mabuti ang kalidad at nag-aalok ng mapagkumpitensyang presyo. Makakaasa ka na bumili ng silicon carbide wafer boat para sa horizontal furnace mula sa amin.
Ang mataas na kalidad na Silicon carbide wafer boat para sa horizontal furnace ay inaalok ng tagagawa ng China na VeTek Semiconductor. Bumili ng Silicon carbide wafer boat para sa horizontal furnace na may mataas na kalidad nang direkta mula sa pabrika na may mababang presyo. Ang Silicon carbide wafer boat para sa horizontal furnace ay ginagamit sa mga furnace tube para sa paglo-load at paglilipat ng mga wafer sa panahon ng mga high-temperature na paggamot. Dahil sa mahusay na mga katangian ng mga materyal na silicon carbide tulad ng mataas na temperatura na paglaban, chemical corrosion resistance, at thermal stability, malawakang ginagamit ang mga ito sa iba't ibang proseso ng heat treatment tulad ng diffusion, oxidation, CVD, at annealing.
1. Mataas na tigas at resistensya sa pagsusuot: Ang Silicon carbide ay may katigasan na pangalawa lamang sa brilyante, na ginagawa itong lubos na lumalaban sa pagsusuot. Nagbibigay-daan ito sa mga silicon carbide boat na makatiis ng paulit-ulit na mekanikal na epekto at alitan, na nagpapahaba ng kanilang buhay ng serbisyo.
2. Mataas na pagtutol sa temperatura: Ang Silicon carbide ay may melting point na 2730°C, na ginagawang angkop ang mga silicon carbide boat para sa mga kapaligirang may mataas na temperatura at iba't ibang proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, tulad ng mataas na temperatura na oksihenasyon at pagsasabog.
3. Mababang thermal expansion coefficient: Ang Silicon carbide ay may mababang thermal expansion coefficient, na tumutulong na mapanatili ang dimensional na katatagan sa mataas na temperatura, na pumipigil sa deformation ng bangka at nakakaapekto sa katumpakan ng pagproseso ng wafer.
4. Magandang chemical stability: Ang Silicon carbide ay lumalaban sa karamihan ng mga kemikal at hindi tumutugon sa mga karaniwang acid at alkaline na solusyon, na tinitiyak ang kaligtasan at kalinisan ng mga wafer.
Maaari kaming gumawa ng iba't ibang uri ng silicon carbide wafer boat gaya ng horizontal wafer boat, vertical wafer boat, at anumang iba pang customized na bangka.
Mga pisikal na katangian ng Recrystallized Silicon Carbide | |
Ari-arian | Tipikal na halaga |
Temperatura sa pagtatrabaho (°C) | 1600°C (may oxygen), 1700°C (nagpapababa ng kapaligiran) |
nilalaman ng SiC | > 99.96% |
Libreng Si content | < 0.1% |
Mabigat | 2.60-2.70 g/cm3 |
Maliwanag na porosity | < 16% |
Lakas ng compression | > 600 MPa |
Malamig na baluktot na lakas | 80-90 MPa (20°C) |
Mainit na lakas ng baluktot | 90-100 MPa (1400°C) |
Thermal expansion @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Thermal conductivity @1200°C | 23 W/m•K |
Elastic modulus | 240 GPa |
Thermal shock resistance | Napakahusay |
Ang Silicon carbide wafer boat para sa mga pahalang na hurno ay nakakahanap ng malawak na aplikasyon sa mga industriyang semiconductor at photovoltaic:
Paglilinis at pag-ukit ng ostiya
Pagsasabog at oksihenasyon
Electroplating at etching
Chemical Mechanical Polishing (CMP)
Paggamot ng init
Paglilipat at imbakan ng wafer