Pahalang na SiC Wafer Carrier

Ang VeTek Semiconductor'sPahalang na SiC Wafer Carrier/Ang bangka ay may napakataas na punto ng pagkatunaw (mga 2700°C), na nagbibigay-daan saPahalang na SiC Wafer Carrier/ Bangka upang gumana nang matatag sa mga kapaligirang may mataas na temperatura nang walang deformation o degradation. Ang tampok na ito ay partikular na mahalaga sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, lalo na sa mga proseso tulad ng high-temperature annealing o chemical vapor deposition (CVD).

AngPahalang na SiC Wafer Carrier/Ang bangka ay partikular na gumaganap ng mga sumusunod na tungkulin sa proseso ng pagdadala ng mga wafer carrier:

Silicon wafer dala at suporta: Ang Horizontal SiC Wafer Boat ay pangunahing ginagamit upang dalhin at suportahan ang mga silicon na wafer sa panahon ng paggawa ng semiconductor. Matatag nitong maisaayos ang maraming mga silicon na wafer upang matiyak na mananatili ang mga ito sa magandang posisyon at katatagan sa buong proseso ng pagproseso.

Unipormeng pag-init at paglamig: Dahil sa mataas na thermal conductivity ng SiC, ang Wafer Boat ay maaaring epektibong ipamahagi ang init nang pantay-pantay sa lahat ng mga wafer ng silicon. Nakakatulong ito na makamit ang pare-parehong pag-init o paglamig ng mga wafer ng silicon sa panahon ng pagproseso ng mataas na temperatura, na tinitiyak ang pagiging pare-pareho at pagiging maaasahan ng proseso ng pagproseso.

Pigilan ang kontaminasyon: Ang katatagan ng kemikal ng SiC ay nagbibigay-daan dito na gumanap nang maayos sa mga kapaligirang may mataas na temperatura at kinakaing gas, sa gayon ay binabawasan ang pagkakalantad ng mga silicon na wafer sa mga posibleng contaminant o reactant, na tinitiyak ang kadalisayan at kalidad ng mga silicon na wafer.

Sa katunayan, maaaring gampanan ng Horizontal SiC Wafer Boat ang papel sa itaas dahil sa mga natatanging katangian ng produkto nito:

Napakahusay na katatagan ng kemikal: Ang materyal ng SiC ay may mahusay na paglaban sa kaagnasan sa iba't ibang media ng kemikal. Sa proseso ng pagproseso ng mga corrosive na gas o likido, ang SiC Wafer Boat ay epektibong makakalaban sa kemikal na kaagnasan at maprotektahan ang mga silicon na wafer mula sa kontaminasyon o pinsala.

Mataas na thermal conductivity: Ang mataas na thermal conductivity ng SiC ay nakakatulong upang pantay na ipamahagi ang init sa proseso ng carrier at bawasan ang akumulasyon ng init. Mapapabuti nito ang katumpakan ng pagkontrol sa temperatura sa panahon ng pagpoproseso ng katumpakan at matiyak ang pare-parehong pag-init o paglamig ng mga wafer ng silicon.

Mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal: Ang mababang thermal expansion coefficient ng SiC material ay nangangahulugan na ang dimensional na pagbabago ng SiC Wafer Boat ay napakaliit sa panahon ng mga pagbabago sa temperatura. Nakakatulong ito na mapanatili ang dimensional na katatagan sa panahon ng pagpoproseso ng mataas na temperatura at pinipigilan ang deformation o positional displacement ng mga silicon wafer na dulot ng thermal expansion.

Mga pangunahing pisikal na katangian ngPahalang na SiC Wafer Carrier:

Tindahan ng Produksyon ng VeTek Semiconductor:

Pangkalahatang-ideya ng chain ng industriya ng semiconductor chip epitaxy: