SiC Coated Graphite Barrel Susceptor para sa EPI

Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na manufacturer, supplier at exporter para sa SiC coated graphite barrel susceptor para sa EPI. Sinusuportahan ng isang propesyonal na koponan at nangungunang teknolohiya, ang VeTek Semiconductor ay maaaring magbigay sa iyo ng mataas na kalidad sa mga makatwirang presyo. tinatanggap ka naming bisitahin ang aming pabrika para sa karagdagang talakayan.

Magpadala ng Inquiry

Paglalarawan ng Produkto

Ang VeTek Semiconductor ay tagagawa at supplier ng China na pangunahing gumagawa ng SiC coated graphite barrel susceptor para sa EPI na may maraming taon ng karanasan. Sana ay bumuo ng relasyon sa negosyo sa iyo. Ang EPI (Epitaxy) ay isang kritikal na proseso sa paggawa ng mga advanced na semiconductors. Kabilang dito ang pagtitiwalag ng mga manipis na layer ng materyal sa isang substrate upang lumikha ng mga kumplikadong istruktura ng aparato. Ang SiC coated graphite barrel susceptor para sa EPI ay karaniwang ginagamit bilang mga susceptor sa mga EPI reactor dahil sa kanilang mahusay na thermal conductivity at paglaban sa mataas na temperatura. Sa pamamagitan ng CVD-SiC coating, nagiging mas lumalaban ito sa kontaminasyon, erosion, at thermal shock. Nagreresulta ito sa mas mahabang buhay para sa susceptor at pinahusay na kalidad ng pelikula.

Mga Bentahe ng aming SiC Coated Graphite Barrel Susceptor:

Nabawasan ang Kontaminasyon: Pinipigilan ng inert na kalikasan ng SiC ang mga impurities na dumikit sa ibabaw ng susceptor, na binabawasan ang panganib ng kontaminasyon ng mga nakadepositong pelikula.

Tumaas na Paglaban sa Erosion: Ang SiC ay higit na lumalaban sa pagguho kaysa sa karaniwang grapayt, na humahantong sa mas mahabang buhay ng susceptor.

Pinahusay na Thermal Stability: Ang SiC ay may mahusay na thermal conductivity at maaaring makatiis ng mataas na temperatura nang walang makabuluhang pagbaluktot.

Pinahusay na Kalidad ng Pelikula: Ang pinahusay na thermal stability at nabawasang kontaminasyon ay nagreresulta sa mas mataas na kalidad na mga nakadepositong pelikula na may pinahusay na pagkakapareho at kontrol sa kapal.

Mga Application:

Ang SiC coated graphite barrel susceptors ay malawakang ginagamit sa iba't ibang EPI application, kabilang ang:

GaN-based na mga LED

Power electronics

Mga aparatong optoelectronic

Mga transistor na may mataas na dalas

Mga sensor

Parameter ng produkto ng SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

Mga pisikal na katangian ng isostatic graphite
Ari-arian	Yunit	Tipikal na halaga
Mabigat	g/cm³	1.83
Katigasan	HSD	58
Electrical Resistivity	mΩ.m	10
Flexural na Lakas	MPa	47
Lakas ng Compressive	MPa	103
Lakas ng makunat	MPa	31
Young's Modulus	GPa	11.8
Thermal Expansion(CTE)	10-6K-1	4.6
Thermal Conductivity	W·m-1·K-1	130
Average na Laki ng Butil	μm	8-10
Porosity	%	10
Nilalaman ng Abo	ppm	≤10 (pagkatapos malinis)

Tandaan: Bago ang patong, gagawin muna namin ang paglilinis, pagkatapos ng patong, gagawin ang pangalawang paglilinis.

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating
Ari-arian	Tipikal na halaga
Istraktura ng Kristal	FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented
Densidad	3.21 g/cm³
Katigasan	2500 Vickers tigas（500g load）
Laki ng Butil	2~10μm
Kadalisayan ng Kemikal	99.99995%
Kapasidad ng init	640 J·kg-1·K-1
Temperatura ng Sublimation	2700 ℃
Flexural na Lakas	415 MPa RT 4-point
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal Conductivity	300W·m-1·K-1
Thermal Expansion(CTE)	4.5×10-6K-1

Tindahan ng Produksyon ng VeTek Semiconductor

Mga Hot Tags: SiC Coated Graphite Barrel Susceptor para sa EPI, China, Manufacturer, Supplier, Factory, Customized, Buy, Advanced, Durable, Made in China

Tag ng Produkto

Kaugnay na Kategorya