tatanggap ng EPI

Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na pinuno ng China EPI Receiver, ALD Planetary Receiver, TaC Coated Graphite Receiver manufacturer.

Ang EPI susceptor ng VeTek Semiconductor ay isang mahalagang bahagi ng epitaxial growth Sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang pangunahing tungkulin nito ay suportahan at painitin ang wafer upang ang isang de-kalidad na epitaxial layer ay maaaring pantay na lumaki sa ibabaw ng wafer.

Ang mga susceptor ng EPI ng VeTek Semiconductors ay karaniwang gawa sa high-purity graphite at pinahiran ng isang layer ng silicon carbide (SiC). Ang disenyo na ito ay may mga sumusunod na pangunahing bentahe:

Mataas na katatagan ng temperatura: Ang EPI susceptor ay maaaring manatiling matatag sa isang mataas na temperatura na kapaligiran, na tinitiyak ang pare-parehong paglaki ng epitaxial layer.

paglaban sa kaagnasan: Ang SiC coating ay may mahusay na corrosion resistance at kayang labanan ang erosion ng mga kemikal na gas, na nagpapahaba sa buhay ng serbisyo ng tray.

Thermal conductivity: Ang mataas na thermal conductivity ng SiC na materyal ay nagsisiguro ng pare-parehong pamamahagi ng temperatura ng wafer sa panahon ng pag-init, sa gayon ay nagpapabuti sa kalidad ng epitaxial layer.

Pagtutugma ng koepisyent ng thermal expansion: Ang thermal expansion coefficient ng SiC ay katulad ng graphite, na iniiwasan ang problema ng coating shedding dahil sa thermal expansion at contraction.

Pangunahing pisikal na katangian ngtatanggap ng EPI:

CVD SiC Coating Production Shop:

Pangkalahatang-ideya ng chain ng industriya ng semiconductor chip epitaxy: