silicon carbide ceramic coating heater

VeTek SemiconductorAng Silicon Carbide Ceramic Coating Heater ay isang heater na idinisenyo para sa mataas na temperatura at malupit na kapaligiran. Pinahiran nito ang isang layer ng silicon carbon ceramic coating (SiC) sa ibabaw ng heating element upang bigyan ang kagamitan ng mahusay na heat resistance, corrosion resistance at thermal conductivity. 

Silicon carbide ceramic coating heateray pangunahing ginagamit sa vacuum coating (evaporation) equipment. Ang karaniwang ginagamit na mga pamamaraan ay ang PCD (Plasma Chemical Drying) at PVD (Physical vapor deposition), na malawakang ginagamit sa paggawa ng semiconductor at iba pang mataas na demand na pang-industriya na aplikasyon.

Pinagsama sa high-performance coating design ng Silicon Carbide Ceramic Coating Heater,maaari itong magbigay ng isang mahusay na solusyon sa pag-init para sa mga proseso ng mataas na temperatura.

Napakahusay na thermal conductivity: Ang materyal ng SiC ay may mahusay na thermal conductivity, na tinitiyak na ang heater ay makakamit ang pare-parehong pamamahagi ng init sa lugar ng pagtatrabaho at mabawasan ang mga gradient ng temperatura.

Magbigay ng pare-parehong pamamahagi ng init: Ang Silicon Carbide Ceramic Coating Heater ay gumagamit ng mataas na thermal conductivity ng SiC material upang makamit ang pare-parehong pamamahagi ng temperatura sa buong lugar ng pag-init. Ito ay kritikal upang matiyak ang pare-parehong heat treatment ng mga semiconductor wafer sa iba't ibang proseso ng mataas na temperatura tulad ng mabilis na thermal processing (RTP), diffusion at oxidation, pag-iwas sa mga depekto ng produkto na dulot ng lokal na overheating o hindi pantay na temperatura.

Mataas na pagpapaubaya sa temperatura: Ang SiC coating ay nagbibigay-daan sa heater na makatiis ng napakataas na temperatura, karaniwang hanggang 1600°C, na angkop para sa iba't ibang proseso ng pagproseso ng mataas na temperatura.

Pagbutihin ang paglaban sa init: Dahil ang coating ay makatiis ng napakataas na temperatura, mahusay itong gumaganap sa mga prosesong nangangailangan ng pangmatagalang operasyon na may mataas na temperatura. Halimbawa, sa mga proseso ng chemical vapor deposition (CVD), masisiguro ng Silicon Carbide Ceramic Coating Heater ang pangmatagalang stable na operasyon ng kagamitan sa mataas na temperatura at mapanatili ang pare-parehong performance ng pag-init, at sa gayon ay mapapabuti ang repeatability at reliability ng proseso.

paglaban sa kaagnasan ng kemikal: Ang SiC coating ay may napakataas na resistensya sa acid, alkali at corrosive na mga gas, at maaaring manatiling matatag sa mahabang panahon sa isang komplikadong kapaligiran ng kemikal na kapaligiran, na nagpapahaba ng buhay ng kagamitan. 

Pagpapalawak ng buhay ng kagamitan: Ang SiC coating ay may mahusay na oxidation resistance at corrosion resistance, at maaaring epektibong labanan ang chemical erosion at oxidation sa mataas na temperatura. Napakakritikal nito sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, lalo na sa isang kapaligiran na humahawak ng mga corrosive na gas at kemikal. Ang proteksiyon na epekto ng patong ay maaaring makabuluhang pahabain ang buhay ng serbisyo ng pampainit at bawasan ang dalas ng pagpapalit ng kagamitan at mga gastos sa pagpapanatili.

Mga pangunahing pisikal na katangian ng silicon carbide ceramic coating heater:

VeTek Semiconductor silicon carbide ceramic coating heater shops:

Pangkalahatang-ideya ng VeTek semiconductor chip epitaxy industry chain: