silicon carbide ceramic coating graphite heater

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heaterpinagsasama ang mahusay na electrical at thermal conductivity ng graphite na may mataas na temperatura na resistensya, corrosion resistance at wear resistance ng silicon carbon ceramic coating, at idinisenyo para sa malupit na kapaligiran sa pagmamanupaktura ng semiconductor. 

Silicon carbide ceramic coating graphite heaterPangunahing ginagamit sa kagamitang pang-vacuum coating (evaporation), at ang mga pamamaraan na karaniwang ginagamit ay PCD (Plasma Chemical Drying) at PVD (Physical vapor deposition). Ang produktong ito ay may mahalagang papel sa pagtataguyod ng teknolohikal na pag-unlad at pagpapabuti ng kahusayan sa produksyon sa industriya ng semiconductor.Taos-puso kaming umaasa sa karagdagang pakikipagtulungan sa iyo.

Ang materyal at istrukturang katangian ng Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater ay ang mga sumusunod:

Graphite substrate: Ang Graphite ay kilala sa mataas na thermal conductivity nito at mababang thermal expansion coefficient. Maaari itong mabilis na tumugon sa mga pagbabago sa temperatura at mapanatili ang katatagan ng istruktura sa mataas na temperatura.

Silicon carbon ceramic coating: Ang SiC coating ay pantay na pinahiran sa graphite surface sa pamamagitan ng chemical vapor deposition o iba pang advanced na proseso. Ang SiC ay may napakataas na tigas at chemical corrosion resistance, na maaaring maprotektahan ang graphite substrate mula sa mataas na temperatura na oksihenasyon at kinakaing unti-unti na mga kapaligiran.

Tinutukoy ng espesyal na disenyo ng istruktura ng produkto ng Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heaterang hindi mapapalitang mga bentahe ng produkto ng produktong ito sa proseso ng pagproseso ng semiconductor:

Mahusay at pare-parehong pag-init:

Thermal conductivity: Ang mataas na thermal conductivity ng graphite ay nagbibigay-daan sa heater na mabilis na maabot at mapanatili ang kinakailangang temperatura, at ang SiC coating ay nagsisiguro ng pare-parehong pamamahagi ng init. Ito ay lalong mahalaga para sa mga proseso ng semiconductor na nangangailangan ng tumpak na kontrol sa temperatura, tulad ng mabilis na thermal processing (RTP) at chemical vapor deposition (CVD).

Pagkakapareho ng temperatura: Sa pamamagitan ng pare-parehong pamamahagi ng init, ang Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater ay maaaring epektibong mabawasan ang thermal stress at temperatura gradient, na tinitiyak ang pagkakapare-pareho at kalidad ng katatagan ng mga semiconductor wafer sa buong proseso ng pag-init.

Proteksyon laban sa kaagnasan:

Paglaban sa kemikal: Ang chemical corrosion resistance ng SiC coating ay nagbibigay-daan sa heater na gumana nang matatag at sa mahabang panahon sa corrosive gas at chemical environment, na iniiwasan ang pinsala sa graphite substrate. Ang tampok na ito ay partikular na kritikal sa mga proseso tulad ng chemical vapor deposition (CVD) at plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD).

Paglaban sa oksihenasyon: Sa mataas na temperatura, maaaring maiwasan ng SiC coating ang oksihenasyon ng graphite substrate, pahabain ang buhay ng serbisyo ng heater, at bawasan ang dalas at gastos ng pagpapanatili ng kagamitan.

Bawasan ang kontaminasyon ng butil:

Katatagan ng ibabaw: Ang SiC coating ay hindi lamang wear-resistant, ngunit pinipigilan din ang pagbagsak ng mga particle mula sa ibabaw ng materyal dahil sa thermal cycling o mga kemikal na reaksyon, sa gayon ay binabawasan ang panganib ng kontaminasyon ng particle na maaaring mangyari sa panahon ng paggawa ng semiconductor at tinitiyak ang isang kapaligiran sa proseso ng mataas na kalinisan.

Pagbutihin ang pagiging maaasahan at kahusayan ng proseso:

Pangmatagalang disenyo: Dahil sa kumbinasyon ng mekanikal na lakas ng graphite at ang wear resistance ng SiC coating, ang Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater ay maaaring mapanatili ang mataas na kahusayan na operasyon sa loob ng mahabang panahon sa ilalim ng malupit na mga kondisyon ng proseso, na makabuluhang nagpapabuti sa pangkalahatang pagiging maaasahan ng kagamitan.

Mahusay na paggamit ng enerhiya: Ang mataas na thermal conductivity ng graphite at ang mataas na temperatura na katatagan ng SiC coating ay nagbibigay-daan sa heater na bawasan ang pagkonsumo ng enerhiya habang pinapabuti ang katumpakan ng pagkontrol sa temperatura, at sa gayon ay nagpapabuti sa pangkalahatang kahusayan ng produksyon ng semiconductor.

Pangunahing pisikal na katangian ngSilicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater:

VeTek SemiconductorSilicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heatermga tindahan:

Pangkalahatang-ideya ng chain ng industriya ng semiconductor chip epitaxy:

/ibang-proseso