Paggawa ng chip: Isang proseso ng daloy ng MOSFET

Kasama sa proseso ng paggawa ng chip ang photolithography,pag-ukit, pagsasabog, thin film, ion implantation, chemical mechanical polishing, paglilinis, atbp. Ang artikulong ito ay halos nagpapaliwanag kung paano isinama ang mga prosesong ito sa pagkakasunud-sunod upang makagawa ng MOSFET.

1.Mayroon muna tayong asubstratena may kadalisayan ng silikon na hanggang 99.9999999%.

2. Palakihin ang isang layer ng oxide film sa silicon crystal substrate.

3. Pantay-pantay na photoresist ang spin-coat.

4. Ang Photolithography ay isinasagawa sa pamamagitan ng isang photomask upang ilipat ang pattern sa photomask sa photoresist.

5. Ang photoresist sa photosensitive na lugar ay nahuhugasan pagkatapos ng pag-unlad.

6. Tanggalin ang oxide film na hindi natatakpan ng photoresist sa pamamagitan ng pag-ukit, upang ang pattern ng photolithography ay mailipat saostiya.

7. Linisin at alisin ang labis na photoresist.

8. Maglagay ng isa pang thinnerpelikulang oxide. Pagkatapos nito, sa pamamagitan ng photolithography sa itaas at pag-ukit, tanging ang oxide film sa lugar ng gate ang nananatili.

9. Palakihin ang isang layer ng polysilicon dito

10. Tulad ng sa hakbang 7, gumamit ng photolithography at etching upang panatilihin lamang ang polysilicon sa layer ng gate oxide.

11. Takpan ang layer ng oxide at gate sa pamamagitan ng paglilinis ng photolithography, upang ang buong wafer ayion-implanted, at magkakaroon ng source at drain.

12. Palakihin ang isang layer ng insulating film sa wafer.

13. Etch ang mga contact hole ng source, gate at drain sa pamamagitan ng photolithography at etching.

14. Pagkatapos ay i-deposito ang metal sa nakaukit na lugar, upang magkaroon ng conductive metal wires para sa source, gate at drain.

Sa wakas, ang isang kumpletong MOSFET ay ginawa sa pamamagitan ng kumbinasyon ng iba't ibang proseso.

Sa katunayan, ang ilalim na layer ng chip ay binubuo ng isang malaking bilang ng mga transistor.

MOSFET manufacturing diagram, source, gate, drain

Ang iba't ibang mga transistor ay bumubuo ng mga gate ng lohika

Ang mga logic gate ay bumubuo ng mga yunit ng aritmetika

Sa wakas, ito ay isang maliit na tilad na kasing laki ng isang kuko