Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at innovator ng Tantalum Carbide Coated Chuck sa China. Kami ay dalubhasa sa TaC coating sa loob ng maraming taon. Ang aming mga produkto ay may mataas na kadalisayan at mataas na temperatura na panlaban hanggang sa 2000 ℃. Inaasahan namin na maging iyong pangmatagalan partner sa China.
Nagbibigay ang VeTek Semiconductor ng mataas na kalidad na Tantalum Carbide Coated Chuck, mga bahagi ng SiC coating na may mapagkumpitensyang presyo. Maligayang pagdating sa pagtatanong sa amin.VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck, partikular na idinisenyo para sa AIXTRON G10 MOCVD system. Pinahuhusay ng accessory na ito ang kahusayan at kalidad sa paggawa ng semiconductor, na naghahatid ng pambihirang pagganap at pagiging maaasahan.
Ginawa mula sa mga de-kalidad na materyales at ginawa nang may katumpakan, nagtatampok ang chuck ng graphite substrate na pinahiran ng CVD tantalum carbide (TaC). Ang coating na ito ay nagbibigay ng mahusay na thermal stability, mataas na kadalisayan, at paglaban sa mataas na temperatura. Tinitiyak nito ang maaasahang pagganap sa mga hinihinging kondisyon ng mga proseso ng MOCVD.
Ang chuck ay nako-customize upang mapaunlakan ang iba't ibang laki ng semiconductor wafer, na ginagawa itong angkop para sa iba't ibang mga kinakailangan sa produksyon. Ang matatag na konstruksyon nito ay nagpapaliit sa downtime at mga gastos sa pagpapanatili na nauugnay sa mga wafer carrier at susceptor.
Gamit ang VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck, ang AIXTRON G10 MOCVD system ay nakakamit ng mas mataas na kahusayan at higit na mahusay na mga resulta sa paggawa ng semiconductor. Ang pambihirang thermal stability nito, compatibility sa iba't ibang laki ng wafer, at maaasahang performance ay ginagawa itong mahalagang tool para sa pag-optimize ng kahusayan sa produksyon at pagkamit ng mga natitirang resulta sa mapaghamong MOCVD na kapaligiran.
Mga pisikal na katangian ng TaC coating | |
Densidad | 14.3 (g/cm³) |
Tukoy na emissivity | 0.3 |
Thermal expansion coefficient | 6.3 10-6/K |
Katigasan (HK) | 2000 HK |
Paglaban | 1×10-5 Ohm*cm |
Thermal na katatagan | <2500℃ |
Mga pagbabago sa laki ng graphite | -10~-20um |
Kapal ng patong | ≥20um karaniwang halaga (35um±10um) |