Tantalum carbide teknolohiya pambihirang tagumpay, SiC epitaxial polusyon nabawasan ng 75%?

Kamakailan lamang, ang German research institute na Fraunhofer IISB ay gumawa ng isang pambihirang tagumpay sa pananaliksik at pagpapaunlad ngteknolohiya ng tantalum carbide coating, at bumuo ng spray coating solution na mas flexible at environment friendly kaysa sa CVD deposition solution, at na-komersyal.

At ang domestic vetek semiconductor ay gumawa din ng mga tagumpay sa larangang ito, mangyaring tingnan sa ibaba para sa mga detalye.

Fraunhofer IISB:

Pagbuo ng bagong teknolohiya ng TaC coating

Noong Marso 5, ayon sa media "Compound Semiconductor", ang Fraunhofer IISB ay nakabuo ng bagoteknolohiya ng patong ng tantalum carbide (TaC).-Taccotta. Ang lisensya ng teknolohiya ay inilipat sa Nippon Kornmeyer Carbon Group (NKCG), at ang NKCG ay nagsimulang magbigay ng TaC-coated graphite parts para sa kanilang mga customer.

Ang tradisyunal na paraan ng paggawa ng TaC coatings sa industriya ay chemical vapor deposition (CVD), na nahaharap sa mga disadvantage gaya ng mataas na gastos sa pagmamanupaktura at mahabang oras ng paghahatid. Bilang karagdagan, ang pamamaraan ng CVD ay madaling kapitan ng pag-crack ng TaC sa paulit-ulit na pag-init at paglamig ng mga bahagi. Ang mga bitak na ito ay naglalantad sa pinagbabatayan na grapayt, na lubhang bumababa sa paglipas ng panahon at kailangang palitan.

Ang inobasyon ng Taccotta ay ang paggamit nito ng water-based na spray coating method na sinusundan ng temperature treatment para makabuo ng TaC coating na may mataas na mechanical stability at adjustable na kapal sagraphite substrate. Ang kapal ng patong ay maaaring iakma mula 20 microns hanggang 200 microns upang umangkop sa iba't ibang mga kinakailangan sa aplikasyon.

Ang teknolohiya ng proseso ng TaC na binuo ng Fraunhofer IISB ay maaaring ayusin ang mga kinakailangang katangian ng patong, tulad ng kapal, tulad ng ipinapakita sa ibaba sa hanay na 35μm hanggang 110 μm

Sa partikular, ang Taccotta spray coating ay mayroon ding mga sumusunod na pangunahing tampok at pakinabang:

● Mas environment friendly: Sa water-based na spray coating, ang paraang ito ay mas environment friendly at madaling gawing industriyalisado;

● Kakayahang umangkop: Ang teknolohiya ng Taccotta ay maaaring umangkop sa mga bahagi ng iba't ibang laki at geometries, na nagbibigay-daan sa bahagyang patong at pagsasaayos ng bahagi, na hindi posible sa CVD.

● Nabawasan ang polusyon sa tantalum: Ang mga bahagi ng graphite na may Taccotta coating ay ginagamit sa paggawa ng SiC epitaxial, at ang polusyon sa tantalum ay nababawasan ng 75% kumpara sa umiiral naMga patong ng CVD.

● Wear resistance: Ipinapakita ng mga scratch test na ang pagtaas ng kapal ng coating ay maaaring makabuluhang mapabuti ang wear resistance.

Scratch test

Iniulat na ang teknolohiya ay na-promote para sa komersyalisasyon ng NKCG, isang joint venture na tumutuon sa pagbibigay ng mga high-performance na graphite na materyales at mga kaugnay na produkto. Ang NKCG ay lalahok din sa pagpapaunlad ng teknolohiya ng Taccotta sa mahabang panahon sa hinaharap. Ang kumpanya ay nagsimulang magbigay ng mga bahagi ng grapayt batay sa teknolohiya ng Taccotta sa kanilang mga customer.

Itinataguyod ng Vetek Semiconductor ang lokalisasyon ng TaC

Noong unang bahagi ng 2023, naglunsad ang vetek semiconductor ng bagong henerasyon ngPaglago ng kristal ng SiCmateryal ng thermal field-porous tantalum carbide.

Ayon sa mga ulat, ang vetek semiconductor ay naglunsad ng isang pambihirang tagumpay sa pagbuo ngporous tantalum carbidena may malaking porosity sa pamamagitan ng independiyenteng pananaliksik at pagpapaunlad ng teknolohiya. Ang porosity nito ay maaaring umabot ng hanggang 75%, na nakakamit ng internasyonal na pamumuno.