Mga Prinsipyo at Teknolohiya ng Physical Vapor Deposition Coating (1/2) - VeTek Semiconductor

Pisikal na Proseso ngVacuum na Patong

Ang vacuum coating ay maaaring nahahati sa tatlong proseso: "film material vaporization", "vacuum transport" at "thin film growth". Sa vacuum coating, kung solid ang materyal ng pelikula, dapat gumawa ng mga hakbang upang mag-vaporize o i-sublimate ang solid film material sa gas, at pagkatapos ay dadalhin sa vacuum ang vaporized film material particle. Sa panahon ng proseso ng transportasyon, ang mga particle ay maaaring hindi makaranas ng mga banggaan at direktang maabot ang substrate, o maaari silang bumangga sa kalawakan at maabot ang ibabaw ng substrate pagkatapos ng pagkalat. Sa wakas, ang mga particle ay nag-condense sa substrate at lumalaki sa isang manipis na pelikula. Samakatuwid, ang proseso ng patong ay nagsasangkot ng pagsingaw o sublimation ng materyal ng pelikula, ang transportasyon ng mga gas na atom sa isang vacuum, at ang adsorption, diffusion, nucleation at desorption ng mga gas na atom sa solid surface.

Pag-uuri ng Vacuum na Patong

Ayon sa iba't ibang paraan kung saan ang materyal ng pelikula ay nagbabago mula sa solid hanggang sa gas, at ang iba't ibang proseso ng transportasyon ng mga atomo ng materyal ng pelikula sa isang vacuum, ang vacuum coating ay karaniwang nahahati sa apat na uri: vacuum evaporation, vacuum sputtering, vacuum ion plating, at vacuum chemical vapor deposition. Ang unang tatlong pamamaraan ay tinatawagpisikal na vapor deposition (PVD), at ang huli ay tinatawagchemical vapor deposition (CVD).

Vacuum evaporation coating

Ang vacuum evaporation coating ay isa sa mga pinakalumang teknolohiya ng vacuum coating. Noong 1887, iniulat ni R. Nahrwold ang paghahanda ng platinum film sa pamamagitan ng sublimation ng platinum sa vacuum, na itinuturing na pinagmulan ng evaporation coating. Ngayon ang evaporation coating ay nabuo mula sa unang resistance evaporation coating hanggang sa iba't ibang teknolohiya tulad ng electron beam evaporation coating, induction heating evaporation coating at pulse laser evaporation coating.

Pag-init ng paglabanvacuum evaporation coating

Ang pinagmumulan ng pagsingaw ng resistensya ay isang aparato na gumagamit ng elektrikal na enerhiya upang direkta o hindi direktang init ang materyal ng pelikula. Karaniwang gawa sa metal, oxides o nitride ang resistance evaporation source na may mataas na melting point, mababang vapor pressure, magandang kemikal at mekanikal na katatagan, tulad ng tungsten, molibdenum, tantalum, high purity graphite, aluminum oxide ceramics, boron nitride ceramics at iba pang materyales. . Ang mga hugis ng resistance evaporation sources ay pangunahing kinabibilangan ng filament sources, foil sources at crucibles.

Kapag gumagamit, para sa mga pinagmumulan ng filament at mga mapagkukunan ng foil, ayusin lamang ang dalawang dulo ng pinagmumulan ng pagsingaw sa mga poste ng terminal na may mga mani. Ang crucible ay karaniwang inilalagay sa isang spiral wire, at ang spiral wire ay pinapagana upang init ang crucible, at pagkatapos ay ang crucible ay naglilipat ng init sa materyal ng pelikula.

Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa ng Chinese ngTantalum Carbide Coating, Silicon Carbide Coating, Espesyal na Graphite, Silicon Carbide CeramicsatIba pang Semiconductor Ceramics.Ang VeTek Semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng mga advanced na solusyon para sa iba't ibang produkto ng Coating para sa industriya ng semiconductor.

Kung mayroon kang anumang mga katanungan o kailangan ng karagdagang mga detalye, mangyaring huwag mag-atubiling makipag-ugnayan sa amin.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com